Gebraucht KLA / TENCOR Archer 200 AIM #9245432 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9245432
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Overlay measurement system, 12"
2010 vintage.
KLA/TENCOR Archer 200 AIM ist eine spezielle Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung entwickelt, um erweiterte 0.25um und 0.15um Feature-Größen zu unterstützen. Es ist in der Lage, feine Linienmerkmale effektiv zu überprüfen und kann hochgenaue Messungen und Berichte durchführen. Das System basiert auf einer Reihe von optischen Inspektionstechnologien mit einer schnellen, automatisierten Datenerfassungs- und Analyseeinheit im Kern. KLA Archer 200 AIM ist eine modulare Maschine mit der Option mehrerer Inspektionsmodule, mit der Kunden eine optimale Lösung für ihre spezifischen Anforderungen konfigurieren können. Das Werkzeug ist in der Lage, eine breite Palette von Defekten zu erkennen, einschließlich kontaminierter Partikel, grobkritischer Dimensionsfehler (CD), Nadelöcher, Musterdefekte, fehlende Schichten, Partikel, Widerstandsentlüftung, unter einigen anderen. Der Vermögenswert setzt sich aus zwei Hauptkomponenten zusammen; eine Bildaufnahmestation (ICS) und ein Messmodell. Das ICS ist ein optisch ausgerichtetes Inspektionswerkzeug mit automatisierten Funktionen zur Waferausrichtung, Scannen und Bildaufnahme. Es wurde entwickelt, damit der Bediener den Wafer schnell und genau scannen kann, mit dem Ziel, ein „sauberes“ Bild ohne sichtbare Unterauflösungsfehler zu erhalten. Das Gerät verfügt auch über eine leistungsstarke integrierte Inspektionssoftware, die darauf ausgelegt ist, Betreiber schnell auf Unregelmäßigkeiten oder mögliche Probleme aufmerksam zu machen. Das Messsystem ist eine programmierbare Einheit mit einer leistungsstarken Suite von integrierten Software-Tools zur Inspektion und Analyse von Daten. Die Messmaschine verfügt über eine Bibliothek mit Algorithmen und Regeln zur Identifizierung und Quantifizierung potenzieller Fehler sowie detaillierte Berichte. Das Werkzeug ist entworfen, um optimale Effizienz zu bieten; sicherstellen, dass keine Zeit für wiederholte manuelle Überprüfungen oder redundante Messungen verschwendet wird. TENCOR Archer 200 AIM ist ein Hochgeschwindigkeits-Asset, ideal für Anwendungen auf Produktionsebene. Durch die Kombination von zuverlässiger Datenanalyse und schneller, automatisierter Bildaufnahme und -analyse bietet das Modell eine umfassende Lösung für die Inspektion von Masken, Wafern und BRs. Darüber hinaus ist es eine skalierbare Ausrüstung, mit der Kunden Systeme konfigurieren können, um die höchste Nachfrage zu befriedigen, ohne die Qualität zu gefährden.
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