Gebraucht KLA / TENCOR Archer 300 #9258489 zu verkaufen

KLA / TENCOR Archer 300
ID: 9258489
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR Archer 300 ist eine vollautomatische Masken- und Wafer-Inspektionsanlage. Es wurde entwickelt, um sowohl gedruckte als auch geätzte Oberflächen von Masken und Wafern mit höchster Genauigkeit zu erkennen. Es verfügt über einen fortschrittlichen Fehlererkennungsalgorithmus und ein hochauflösendes Bildgebungssystem, das die Empfindlichkeit der Einheit im Nanometerbereich optimal nutzt. KLA Archer 300 umfasst eine optische Inspektionsstation, eine Wafer-Inspektionsstation und eine Scanstation. Die optische Inspektionsstation besteht aus einem hochauflösenden DUV-Mikroskop und einer Kamera. Die Maschine verwendet mehrere Beleuchtungswinkel und einen Satz fortschrittlicher Algorithmen, um Fehler zu erkennen und zu analysieren. Für die Wafer-Inspektion ist das Werkzeug mit einem Hochgeschwindigkeits-, Hochempfindlichkeits- und hochauflösenden Wafer-Imaging-Asset ausgestattet. Die Scanstation dient zum schnellen Scannen mehrerer Masken oder Wafer und zum schnellen Erkennen von Defekten. TENCOR Archer 300 unterstützt eine Vielzahl von Masken- und Wafertypen sowie fortschrittliche Defektstandards wie EUV, E-Beam, 248nm DUV, 193nm DUV und 157nm DUV. Das Modell ist in der Lage, sowohl Masken als auch Wafer gleichzeitig zu inspizieren und kann auch schnelle Berichte zur Fehleranalyse im mittleren Zyklus generieren. Für maximale Genauigkeit verwendet Archer 300 fortschrittliche fehlertolerante Bildgebungstechniken. Es unterstützt auch mehrere Arten von Fehleralgorithmen, um die Bedürfnisse der verschiedenen Kunden zu erfüllen. Das Gerät arbeitet mit jeder Art von Messtechnik und kann auch an andere Arten von Inspektionssystemen angepasst werden. Schließlich ist der KLA/TENCOR Archer 300 dank seiner niedrigen Betriebskosten sehr wirtschaftlich. Es verfügt über eine lang anhaltende LED-Lichtquelle, die bis zu 5 Jahre halten kann, und sein geringer Stromverbrauch sorgt dafür, dass es leicht replizierbare Energieeinsparungen hat. Darüber hinaus erfordert das Gerät nur eine minimale Wartung - was bedeutet, dass es gebaut ist, um den Test der Zeit zu bestehen.
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