Gebraucht KLA / TENCOR Archer 500 AIM #9353831 zu verkaufen

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ID: 9353831
Overlay inspection system, 12" CIM: SECS and GEM Handler system (3) FOUP 2013 vintage.
KLA/TENCOR Archer 500 AIM ist eine leistungsfähige, aber kostengünstige Masken- und Waferinspektionsanlage, die für die hochempfindliche Fehlererkennung und genaue Fehlercharakterisierung ausgelegt ist. Ausgestattet mit fortschrittlicher optischer, ultravioletter und Elektronenstrahl-Bildgebung bietet das System detaillierte Daten und eine umfassende Analyse der Maske und des Wafers für ein umfassendes Verständnis möglicher Defekte. Das Gerät ist in zwei Hardwarekonfigurationen erhältlich - dem Archer 500 und dem Archer 500G. Der Archer 500 unterstützt die Einzelwafer-Inspektion, während der Archer 500G sowohl Einzelwafer-Inspektion als auch Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 12 Zoll für die vollständigste Analyse unterstützt. Dadurch kann eine breite Palette von Substraten mit höchster Genauigkeit überprüft werden. Die Archer 500 und 500G verfügen über eine leistungsstarke 4x optische und 5x ultraviolette Bildgebung. Die leistungsstarke 4x optische Vergrößerungsleistung ermöglicht es der Maschine, Fehler bis zu einer Größe von 0,25 µm und mehr zu erkennen. Darüber hinaus sorgt die hochauflösende Bildgebung dafür, dass der genaue Ort und die Eigenschaften jedes Fehlers gründlich analysiert werden können. Die 5x ultraviolette Bildgebung ermöglicht eine noch feinere Inspektion, wobei Fehlergrößen bis zu 0,2 µm klar und genau erkannt werden. Für eine fortschrittlichere Analyse und Fehlercharakterisierung verfügen die Archer 500 und 500G auch über eine fortschrittliche Elektronenstrahl-Bildgebung. Dies ermöglicht die Strahlkreisprüfung und Gate-Region-Analyse, um die umfassendste Inspektion von möglichen Fehlern zu gewährleisten. Zusätzlich ist das Werkzeug mit einer hochauflösenden energiedispersiven Spektroskopie ausgestattet, die eine genaue elementare Analyse identifizierter Fehler ermöglicht. Schließlich profitieren die Archer 500 und 500G von der proprietären AccuSc-Ausstattungs- und Analysesoftware, die eine nahtlose Integration mit dem Modell und eine umfassende Reihe von Funktionen für Datenanalyse, Verwaltbarkeit und Reporting ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, dass die Ausrüstung ein genaues und umfassendes Verständnis für etwaige Defekte oder Kontaminationen liefern kann. Insgesamt bieten die Archer 500 und 500G ein modernes und dennoch kostengünstiges Masken- und Wafer-Inspektionssystem, das leistungsstarke optische, ultraviolette und Elektronenstrahl-Bildgebung mit umfassenden Analysefunktionen und AccuSc-Software-Ausstattung kombiniert. Als solches ist das Gerät in der Lage, vollständige Fehlererkennung und Charakterisierung bei höchster Genauigkeit und Präzision zu liefern.
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