Gebraucht KLA / TENCOR Archer 500 AIM #9354401 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9354401
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2013
Overlay inspection system, 12"
Handler: Standard
(3) FOUP Interfaces
CIM: SECS and GEM
2013 vintage.
KLA Archer 500 Automated Inspection Module (AIM) ist ein Hochgeschwindigkeits-, Masken- und Wafer-Inspektionsgerät, das entwickelt wurde, um die Ausbeute bei der Herstellung von Halbleitern zu verbessern. Es ist ein Kernelement der TENCOR-Prozesskontrolllösungen und bietet Werkzeuglevel und Fehlerinspektion, damit Hersteller strenge Qualitätsanforderungen erfüllen können. KLA/TENCOR Archer 500 AIM verfügt über ein patentiertes Dual Photon Absorber (DPA) Detektorsystem, das einen breitbandigen, frequenzverdoppelten Diodenlaser mit ultravioletten Sensoren kombiniert. Diese Kombination bietet eine erstklassige Empfindlichkeit gegenüber Düsendefekten, die nur wenige Nanometer groß sind. KLA Archer 500 AIM ist auch mit einem hochauflösenden „grünen“ Laser ausgestattet, um Merkmale zu messen und auf periodische Musterschwankungen im Druck zu überprüfen. Das Gerät ist für den automatisierten Einsatz in der Fertigung optimiert und unterstützt die Serienproduktion durch schnelle Bearbeitung von bis zu 360 Wafern pro Stunde. Die große 18 "-Waferunterstützung ermöglicht einen optimalen Durchsatz sowohl für Standard-Wafer als auch für ultradünne Wafer. TENCOR Archer 500 AIM bietet dank seiner äußerst zuverlässigen optischen Plattform eine hervorragende Inspektionsleistung bei geringen Ausfallzeiten. Die hochpräzise bildbasierte Fokustechnologie hält den Laserfokus für bis zu 150 Wafer in einer Warteschlange konstant. Und um eine vollständige Abdeckung der Maske und des Wafers sicherzustellen, berechnen die heuristischen und zellbasierten Algorithmen der Maschine den besten Weg, um eine Region zu inspizieren. Archer 500 AIM bietet darüber hinaus erweiterte Datenanalyse- und Berichtsfunktionen, mit denen Benutzer Berichte mit detaillierten Einblicken in Wafer- und Stanzfehler generieren können. Es verfügt über die Software Mapping and Defect Analysis, um die genaue Position, Größe, Typ und Musterfrequenz von Fehlern anzuzeigen. Diese Informationen sind entscheidend dafür, dass Hersteller Fehler im Herstellungsprozess erkennen und beheben können. Die einzigartige Kombination von KLA/TENCOR Archer 500 AIM aus Funktionen und schneller Verarbeitungszeit macht es zur idealen Lösung für Halbleiterhersteller, die ihren Ertrag maximieren und höchste Qualitätsstandards gewährleisten möchten.
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