Gebraucht KLA / TENCOR Archer 500 LCMu #293668510 zu verkaufen

KLA/TENCOR Archer 500 LCM ist ein führender Anbieter in der Masken- und Waferinspektionsbranche. Es handelt sich um ein Lithographiemodul, das speziell entwickelt wurde, um ausbeuteeinflussende Defekte in den Schlüsselstufen des Herstellungsprozesses zu erkennen. Die Ausrüstung wurde entwickelt, um eine umfassende Inspektionslösung zu bieten, die höchste Zuverlässigkeit, Genauigkeit und Effizienz vereint, um den anspruchsvollsten Anwendungen gerecht zu werden. Herzstück des Systems ist die patentierte Lichtbogenuntersuchungstechnologie, die Defekte mit einer Auflösung von weniger als 0,4 μ m erkennen kann. Die fortschrittliche optische Einheit des Archer 500 ermöglicht es der Maschine, Oberflächenfehler, Partikel, lokale Flecken und andere Funktionen gleichzeitig auf Maske und Wafer zu untersuchen. Darüber hinaus ermöglicht die überlegene DTI-Fähigkeit (Defectivity and Tolerance Index) des Tools Kunden die genaue Klassifizierung und Erkennung von Ausbeuten, die sich früher im Prozess auswirken. Der Archer 500 wird von zwei Modulen unterstützt, dem Optical Column Module (OCM) und dem Image Analysis Module (IAM). Das OCM ist für die Aufnahme der Bilder der Probe verantwortlich, während das IAM für die Verarbeitung der Bilder und die Bereitstellung der detaillierten Analyseergebnisse verwendet wird. Durch die Kombination dieser Module kann mit dem Archer 500 eine Vielzahl von Inspektionsszenarien abgedeckt werden. Die fortschrittliche Technologie der Anlage ermöglicht es ihr, die anspruchsvollen Anforderungen an hohe Geschwindigkeit, hohe Auflösung und hohen Durchsatz der Masken- und Waferinspektion zu erfüllen. Das Modell ist auch für die einfache Integration in die bestehenden Produktionsanlagen konzipiert. Es verfügt über eine breite Palette benutzerfreundlicher Funktionen, einschließlich Fernsteuerbarkeit, Datenaustauschfähigkeit und erweiterte Diagnosetools. Neben den physikalischen Inspektionen bietet der Archer 500 eine Vielzahl von Diagnosefunktionen zur Analyse der Leistungsfähigkeit von Prozessrezepten. Es kann eine detaillierte Analyse der Ergebnisse liefern, indem es die Inspektionsergebnisse mit Prozessdaten kombiniert, so dass Benutzer potenzielle Fehler schnell erkennen und beseitigen können, um die Effizienz und den Ertrag zu maximieren. Insgesamt ist KLA Archer 500 LCM ein leistungsstarkes Werkzeug für die Masken- und Waferinspektion. Es bietet eine fortgeschrittene Merkmalsreihe an, die schnelllaufend liefert und Hogenauigkeitsdefektentdeckungsfähigkeiten, Benutzern erlaubend, Ertrag zu optimieren, kostspieliges Stück verhindern, und bedeutsam die mit der manuellen Inspektion vereinigten Arbeitskosten reduzieren.