Gebraucht KLA / TENCOR Archer 500 #293610056 zu verkaufen

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ID: 293610056
Weinlese: 2013
Overlay inspection system 2013 vintage.
KLA/TENCOR Archer 500 Mask & Wafer Inspection bietet Betreibern leistungsstarke Lösungen für ihre Inspektionsbedürfnisse in Halbleiteranwendungen. KLA Archer 500 ist ein Hochdurchsatz-System mit hoher lateraler Auflösung, das die hohen Standards der Halbleiterindustrie erfüllt. Das Gerät ist in der Lage, Post-Etch, Single-Device-Masken bei Auflösungen von bis zu 5,5 Mikrometer sowie Doppelgeräte-Masken und undurchsichtige Masken bis zu 1,75 Mikrometer zu überprüfen. Es verfügt über einen überlegenen Maschinendurchsatz und bietet integrierte Bilderfassungs- und Analysezeiten von nur 10 Sekunden pro Werkzeug. Dies wird durch eine Kombination aus leistungsstarker Multi-Core-Architektur, automatisierten Scanmodi und einem fortschrittlichen Optik-Tool erreicht. Ein proprietäres optomechanisches Design treibt das Modell mit 0,4 Mikrometer Auflösung über ein vollständiges Sichtfeld mit bis zu 1.400 fps an. Die 4-Quadranten-Retikelausrichtung wird mit Präzision 0,4 Mikrometer Schrittmotoren erreicht. Das Gerät verfügt über eine X-Y-Übersetzungsplattform mit einem hochpräzisen Z-Achsen-Mechanismus und einem fortschrittlichen digitalen x-y-z-Koordinatenscanner. Die Einheit wird mit einer hohen Geschwindigkeit galvanometerbasierter Laserbalken und Laserentdeckungsoptik ausgestattet, ihm erlaubend, die Eigenschaften von bis zu 109 Diagrammen eines gegebenen Geräts zu analysieren und zu vergleichen und Defekte sogar in den kompliziertsten Strukturen auszuarbeiten. Die Maschine ist mit einem innovativen Auto-Focus Assistant integriert, der schnelle Autofokussierung und konvergente Strahlprofile bietet. Der Autofokus-Assistent erfasst Datenpunkte über das gesamte Gerätefeld, sodass ein Bediener das Fokusprofil dynamisch anpassen kann, um sicherzustellen, dass auch kleinste Oberflächenschritte genau erkannt werden. Darüber hinaus bietet eine integrierte Software ein verbessertes Benutzererlebnis. Die Suite umfasst eine intuitive, einfach zu navigierende grafische Benutzeroberfläche, flexible Maskenausrichtung und Segmentierungsalgorithmen sowie eine ausgeklügelte Fehlerbehandlung, die zur Optimierung der Werkzeugleistung entwickelt wurde. TENCOR Archer 500 Mask & Wafer Inspection Asset ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug für Halbleiterhersteller und Forschungslabore gleichermaßen. Seine Kombination aus hoher Leistung, einfach zu bedienender Software und robustem Optikdesign machen es zu einem wertvollen und vielseitigen Kapital für jede Halbleiterinspektionsanwendung.
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