Gebraucht KLA / TENCOR Archer 5300 #9295113 zu verkaufen
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KLA/TENCOR Archer 5300 ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Das System nutzt fortschrittliche digitale Bildgebungstechnologie, um Bilder von Masken und Wafern aus der Prozesskammer schnell in digitale Form zu bringen. Dadurch kann das Gerät genau nach Fehlern oder Unregelmäßigkeiten suchen, die zu minderwertigen Produkten führen könnten. KLA Archer 5300 verfügt über eine Reihe von Werkzeugen zur Wafer-Fehlererkennung, die von der Die-to-Die-Pixel-Abbildung bis zur lokalisierten Fehlerisolierung reichen. Für Maskeninspektionen bietet die Maschine dreidimensionale bildgebende Funktionen zur gründlichen Fehlererkennung. Das Tool verfügt über ein verbessertes Scanning Acoustic Microscopy (SAM) Modul, das zur Erkennung kleiner nicht sichtbarer Gruben, Kratzer oder anderer Oberflächenfehler entwickelt wurde. Das Advanced Contamination Detection (ACD) Modul erkennt das Vorhandensein von Partikeln auf der Vorder- und Rückseite von Wafern. Das Asset umfasst auch die fortschrittliche Auto Sense-Technologie zur vollautomatischen Fehlerkorrektur und Fehlerzählung auf Waferebene. Es verfügt auch über eine leistungsstarke softwarebasierte Mikroskopie-Schnittstelle, die sowohl Makro- als auch Mikrofotografiebilder verarbeiten kann. TENCOR Archer 5300 bietet eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche, mit der Bediener auf alle Funktionen und Einstellungen des Modells zugreifen können. Jede Komponente des Gerätes ist über ein integriertes Fernabbildungssystem leicht zu beobachten. Das Gerät ist hochgradig konfigurierbar und ermöglicht eine professionelle Anpassung aller Funktionen der Maschine, einschließlich Geschwindigkeit, Empfindlichkeit, Fehlertyp, horizontales und vertikales Sichtfeld sowie verschiedene andere Parameter. Archer 5300 ist mit einer modularen Waferstufe für einfaches Be- und Entladen sowie automatische Probenausrichtung ausgestattet. Neben der Waferstufe verfügt das Werkzeug über einen Kassettenadapter zur Aufnahme von Waferkassetten verschiedener Größen und einen Front-End-Roboter, perfekt für Inline- oder Offline-Inspektionen. Abschließend ist KLA/TENCOR Archer 5300 eine hochentwickelte Masken- und Wafer-Inspektion. Mit seiner Reihe von Werkzeugen für Wafer-Defekt-Erkennung, fortschrittliche Auto Sense und modulare Wafer-Bühne, ist es entworfen, um schnell und genau alle Unregelmäßigkeiten zu erkennen, die zu minderwertigen Produkten führen könnten.
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