Gebraucht KLA / TENCOR Archer A500 AIM #293592354 zu verkaufen

KLA / TENCOR Archer A500 AIM
ID: 293592354
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer A500 AIM ist eine multispektrale bildgebende Ausrüstung, die für die automatisierte Inspektion fortschrittlicher integrierter Schaltkreisscheiben und -masken entwickelt wurde. Dieses automatisierte Inspektionssystem verwendet eine dreifarbige Mehrfrequenz-CCD-Kamera, die hochauflösende Bilder von der Vorder- und Rückseite einer Maske oder eines Wafers aufnimmt. Es kombiniert fortschrittliche Bildverarbeitungsalgorithmen mit einer Gesamtdosis-Röntgeninspektion, um verschiedene Defekte wie Kontamination, Partikelfehler und fehlende Defekte zu identifizieren. Der Archer A500 verfügt über eine in sich geschlossene automatisierte Fehlerüberprüfungseinheit mit 19-Zoll-Touchscreen-Schnittstelle. Es verfügt über eine Bildaufnahmefähigkeit von 900x900 Pixeln, die die Leistung der Maschine beim Erkennen von Partikeln, Partikeln in Bereichen hoher Dichte und Musterdefekten optimiert. Die Hochgeschwindigkeits-Bewegungsplattform ermöglicht eine vollständige Wafer- oder Maskenabdeckung in wenigen Minuten. Der Archer A500 ist mit einem erweiterten multi-zeitlichen Mustererkennungsmodul ausgestattet, das es ermöglicht, Merkmale wie Partikel, Kontakte, Linien und andere Funktionen bis in ihre individuellen Formen und Größen genau zu unterscheiden. Dieses Modul verfügt über eine überlegene 10-Nanometer-Bildauflösungsfähigkeit, die die Fehlererkennungsleistung verbessert. Das Tool umfasst auch eine automatisierte Fehlerklassifizierung, die kumulative Fehlermetriken verwendet, um datengesteuerte Klassifikationsfehler genau zu identifizieren. Dieses Modell kann Fehler wie fehlende Polaritätsmarkierungen und offene/kurze Routingkontakte erkennen. Die automatisierte Fehlerprüf- und Testausrüstung des Archer A500 bietet Flexibilität, einfache Einrichtung und schnelle Zykluszeiten. Die patentierten Bildverarbeitungsalgorithmen erfassen eine vollständige Vorschau von Fehlern mit maximalem Durchsatz und niedrigen Ausschussraten. Der Archer A500 hat gegenüber herkömmlichen manuellen Inspektionssystemen mehrere einzigartige Vorteile. Es bietet verbesserte Prozesssteuerung, verbesserte Zykluszeiten und verbesserte Fehlerkontrolle. Darüber hinaus bietet es ein verbessertes Verständnis von Fehlertypen und Ausbeute Kontrolle, so dass es eine ideale Lösung für fortgeschrittene IC-Wafer und Maskeninspektion.
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