Gebraucht KLA / TENCOR Archer AIM Plus #9023783 zu verkaufen

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ID: 9023783
Overlay inspection systems.
KLA/TENCOR Archer AIM Plus ist eine fortschrittliche Masken- und Waferinspektionsanlage, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Das System ist in der Lage, Fehler bei der Masken- oder Waferherstellung integrierter Schaltungen zu identifizieren, einschließlich derjenigen im Zusammenhang mit lithographischem Druck, Messtechnik und Planarisierung. Es ist die einzige Einheit seiner Art, die Nanopartikel und andere nicht-lithographische Defekte automatisch erkennen und genau messen kann. KLA Archer AIM Plus ist eine automatisierte, integrierte Einheit bestehend aus mehreren Subsystemen. Dazu gehören eine automatisierte optische Inspektionsmaschine (AOI) zur Identifizierung lithographischer und nichtlithographischer Defekte, ein hochauflösendes Mikroskop zur Messung kleiner Defekte und ein Messtechnikwerkzeug zur Messung von Parametern wie Linienbreitenabweichungen. Darüber hinaus umfasst das Asset ein erweitertes Datenanalyse- und Visualisierungs-Toolkit, um die durch das Inspektionsmodell erhaltenen Bilder zu analysieren, um ertragsbegrenzende Probleme zu identifizieren, zu bewerten und zu verhindern. Das AIM Plus wurde entwickelt, um hochgenaue, zerstörungsfreie Inspektionen bereitzustellen, die eine schnelle Erkennung und Messung von Defekten bis zu 3 nm ermöglichen, wodurch die Ausbeute von Halbleiterbauelementen verbessert wird. Darüber hinaus ist das Gerät in der Lage, Partikel, Gleichmäßigkeit und andere nicht-lithographische Eigenschaften zu detektieren, die sonst unentdeckt bleiben könnten. Die fortschrittlichen messtechnischen Fähigkeiten des AIM Plus ermöglichen eine präzise Steuerung kritischer nanoelektronischer Photolithographie-Prozesse wie Strukturierung und lithographische Kantenplatzierung. Der AIM Plus ist extrem schnell und zuverlässig, so dass er in nur 25 Sekunden einen vollen 8-Zoll-Wafer in einem Durchgang auswerten kann. Darüber hinaus sorgt die benutzerfreundliche Oberfläche des Systems für eine einfach zu bedienende Einheit, die Zeit und Kosten für Betrieb und Wartung reduziert. Mit seinen leistungsstarken Computing-Fähigkeiten ist das AIM Plus in der Lage, große Datenmengen schnell und sicher zu übertragen und den Produktionsoptimierern wertvolle Erkenntnisse in Echtzeit zu liefern. Insgesamt ist TENCOR Archer AIM Plus eine fortschrittliche und leistungsstarke Lösung für die Masken- und Waferinspektion, die eine verbesserte Ausbeute und niedrige Produktionskosten in der Halbleiterherstellung ermöglicht. Es ist sehr vielseitig mit erweiterten Funktionen und Fähigkeiten, so dass es eine zuverlässige Lösung für Qualitätskontrolle und Prozessüberwachung.
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