Gebraucht KLA / TENCOR Archer AIM+ #293821668 zu verkaufen

KLA / TENCOR Archer AIM+
ID: 293821668
Overlay inspection systems.
KLA/TENCOR Archer AIM + ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Halbleiterherstellung. Es ist ein Hochleistungswerkzeug für die Prozesskontrolle mit hoher Ausbeute mit Auflösung und Genauigkeit, das in der Branche unerreicht ist. Das AIM + bietet eine einzigartige Kombination aus Auflösung, Sichtfeld und Präzision, die das Durchsatzpotenzial und die Qualität der Datenanalyse deutlich erhöht hat. Durch den Einsatz fortschrittlicher Algorithmen und einer Vielzahl automatisierter Tools bietet dieses System eine umfassende Masken- und Waferinspektions- und Analysefähigkeit. Das Gerät wurde entwickelt, um Maskierungsretikel, Wafer-Sub-Lithographie, mehrschichtige und rückseitige Beschichtungen, Lötmaske und Stoßen zu überprüfen. Es verfügt über eine integrierte Kamerasteuerung, eine automatisierte Fokusmaschine und einen Bildprozessor, um beispiellose Bildanalysefunktionen bereitzustellen und bietet sogar eine 3D-Analyse von Strukturen. Das AIM + verwendet mehrere fortschrittliche Algorithmen, um sowohl gedruckte Schichten als auch Defekte zu analysieren, einschließlich Farbpolarität, Struktur, Erosion und Steuerung der hybriden Bildgebung. Es bietet auch mehrere proprietäre Algorithmen zur Mustererkennung für zusätzliche Erkennungsfunktionen und bietet sowohl einen hohen Dynamikbereich als auch Lichtfeld-Bildgebung. Das Tool verfügt sowohl über manuelle als auch automatisierte Funktionen, einschließlich der Möglichkeit, Zielmerkmale, Fokusposition und Inspektionskameraorientierung auszuwählen, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Es bietet auch eine benutzerfreundliche GUI und einfache Operationen mit mehrsprachiger Unterstützung, vereinfachter Programmierung und minimaler Kalibrierung. Das Asset ist hochskalierbar und kann für mehrere Chipgeräte sowie verschiedene Arten von Bildanalyseanwendungen wie Messtechnik und 3D-Bildgebung konfiguriert werden. Es kann auch einfach in bestehende Halbleiterherstellungsprozesse integriert werden. Um die Datenanalyse und -berichterstattung zu erleichtern, ist KLA Archer AIM + mit einem leistungsstarken Datenspeichersubsystem, einer schnellen Rückverfolgbarkeit und einer hervorragenden Positioniergenauigkeit ausgestattet. Darüber hinaus nutzt das Modell hochgenaue fiducial Markenerkennungsfunktionen, um eine überlegene Ausrichtung und eine Eins-zu-Eins-Korrelation von Defekten zu ermöglichen. TENCOR Archer AIM + ist eine fortschrittliche und robuste Masken- und Wafer-Inspektionsanlage mit der für die Halbleiterherstellung erforderlichen Leistung und Präzision. Es bietet die notwendige Auflösung und Sichtfeld, sowie automatisierte und manuelle Fähigkeiten zur überlegenen Bildanalyse und 3D-Inspektion von Strukturen. Mit vielen proprietären Algorithmen und einem integrierten Kameracontroller, Datenspeicherung und schnellen Backtrace-Funktionen bietet dieses System eine umfassende und vielseitige Lösung zur Masken- und Waferinspektion.
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