Gebraucht KLA / TENCOR Archer AIM+ #78215 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 78215
Overlay inspection system, 8"
Install type: Stand-Alone
System Software Version: 3.10.06sp7
Run daily pm test: PZT P high voltage, PZT Z gain, PZT feedback
Halogen light source
Replace halogen lamp
PDA gain X, Y axis
Wafer surface focus and analysis patened
LINNIk camera uniformity, AMS camera uniformity
MPX monitoring photo excursions
CMP coherence option
Check shutter response time
GEM / SECS
Line conditioner, 60Hz
Power requirements: 208 / 230V, 3 phase / 1 phase, 50 / 60Hz
RDM recipe database manager software of measurement recipes
Archer computer CD drive, Klass computer C drive
2004 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM + ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die speziell für fortgeschrittene Halbleiterproduktionsumgebungen entwickelt wurde. Es kombiniert eine Vielzahl von Inspektionsmethoden wie Oberflächen- und Querschnittsbildgebung, Fokusvariationsmikroskopie und strukturierte Waferbildgebung, um eine schnelle und genaue Fehlererkennung zu gewährleisten. Das Inspektionssystem bietet Echtzeit-Feedback zu Maskenfehlern und Konstruktionsintegrität, verbessert Prozessentscheidungen und reduziert Ertragsverluste. Seine erweiterte Optik verfügt über eine große Schärfentiefe und ein vollständiges Sichtfeld und hilft, selbst die subtilsten Fehler zu identifizieren. Das Gerät verfügt auch über erweiterte Auflösungsfunktionen, einschließlich Airy-Phasenkontrast und Nahfeld-Bildgebung. KLA Archer AIM + verwendet proprietäre Software, um eine Reihe von automatischen Maskenfehlererkennungsfunktionen bereitzustellen, einschließlich automatischer Klassifizierung von Fehlertypen, automatische Triage von Fehlerlisten, automatische Fokussierung von Fehlerbildern, automatische Archivierung von Fehlerbildern, automatische Überprüfung von Bildern und ein Regel-Editor. Es kann Laborqualität Optik und konfigurierbare Beleuchtung auf defekten Bereichen für genaue Analyse spezifizieren. Die Maschine bietet auch eine Reihe benutzerfreundlicher Inspektionswerkzeuge, einschließlich eines Multi-Site-Inspektionsmodus zum Betrachten eines Wafers aus mehreren Orientierungen, eines alternativen Frequenzscanmodus, erweiterter Overlay-Genauigkeit und Regressionswerkzeuge und eines einstellbaren Edge-Offset-Loup-Faktors für eine präzise Fehleranalyse. TENCOR Archer AIM + ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die fortschrittliche Halbleiterproduktion, das eine hochpräzise Masken- und Waferinspektion in Minuten ermöglicht. Seine präzisen, hochintelligenten Detektionsmöglichkeiten machen es zu einer unschätzbaren Ergänzung zu jeder Halbleiterherstellung.
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