Gebraucht KLA / TENCOR Archer AIM+ #78215 zu verkaufen

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ID: 78215
Overlay inspection system, 8" Install type: Stand-Alone System Software Version: 3.10.06sp7 Run daily pm test: PZT P high voltage, PZT Z gain, PZT feedback Halogen light source Replace halogen lamp PDA gain X, Y axis Wafer surface focus and analysis patened LINNIk camera uniformity, AMS camera uniformity MPX monitoring photo excursions CMP coherence option Check shutter response time GEM / SECS Line conditioner, 60Hz Power requirements: 208 / 230V, 3 phase / 1 phase, 50 / 60Hz RDM recipe database manager software of measurement recipes Archer computer CD drive, Klass computer C drive 2004 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM + ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die speziell für fortgeschrittene Halbleiterproduktionsumgebungen entwickelt wurde. Es kombiniert eine Vielzahl von Inspektionsmethoden wie Oberflächen- und Querschnittsbildgebung, Fokusvariationsmikroskopie und strukturierte Waferbildgebung, um eine schnelle und genaue Fehlererkennung zu gewährleisten. Das Inspektionssystem bietet Echtzeit-Feedback zu Maskenfehlern und Konstruktionsintegrität, verbessert Prozessentscheidungen und reduziert Ertragsverluste. Seine erweiterte Optik verfügt über eine große Schärfentiefe und ein vollständiges Sichtfeld und hilft, selbst die subtilsten Fehler zu identifizieren. Das Gerät verfügt auch über erweiterte Auflösungsfunktionen, einschließlich Airy-Phasenkontrast und Nahfeld-Bildgebung. KLA Archer AIM + verwendet proprietäre Software, um eine Reihe von automatischen Maskenfehlererkennungsfunktionen bereitzustellen, einschließlich automatischer Klassifizierung von Fehlertypen, automatische Triage von Fehlerlisten, automatische Fokussierung von Fehlerbildern, automatische Archivierung von Fehlerbildern, automatische Überprüfung von Bildern und ein Regel-Editor. Es kann Laborqualität Optik und konfigurierbare Beleuchtung auf defekten Bereichen für genaue Analyse spezifizieren. Die Maschine bietet auch eine Reihe benutzerfreundlicher Inspektionswerkzeuge, einschließlich eines Multi-Site-Inspektionsmodus zum Betrachten eines Wafers aus mehreren Orientierungen, eines alternativen Frequenzscanmodus, erweiterter Overlay-Genauigkeit und Regressionswerkzeuge und eines einstellbaren Edge-Offset-Loup-Faktors für eine präzise Fehleranalyse. TENCOR Archer AIM + ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die fortschrittliche Halbleiterproduktion, das eine hochpräzise Masken- und Waferinspektion in Minuten ermöglicht. Seine präzisen, hochintelligenten Detektionsmöglichkeiten machen es zu einer unschätzbaren Ergänzung zu jeder Halbleiterherstellung.
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