Gebraucht KLA / TENCOR Archer AIM #9173737 zu verkaufen

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KLA / TENCOR Archer AIM
Verkauft
ID: 9173737
Overlay inspection system Specifications: 12" With dual FOUP for dram and NAND Fully automated overlay measurement module: Coherence probe Interference microscope Automated wafer handling Software: Windows XP based SW and User Interface Integrated user interface Includes: 19" LCD Screen 3.5" Floppy drive CD ROM Drive Tape drive back up system (DAT) Video hard copy printer Network: RJ45 (10 Base-T) and BNC and AUI connectors Tool options: Electrical wiring EMO Shield Archer 02S & 03 painted skins CMP Measurement (CPM+ANRA) Signal tower: (4) Lamps 40mm Currently de-installed.
KLA/TENCOR Archer AIM ist eine leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die sowohl Gießereien als auch ihren Kunden dabei helfen soll, ihren Herstellungsprozess zu verbessern. Das System besteht aus einem Hochleistungslaser, fortschrittlicher Optik und einer anspruchsvollen Bildgebungseinheit. Diese Kombination ermöglicht es der Maschine, Fehler schnell und genau zu erkennen und zu identifizieren, was sie für eine Vielzahl von Anwendungen wie Halbleitermasken- und Waferinspektion, LCD/CNT-Maskeninspektion und MEMS-Geräteprüfung von unschätzbarem Wert macht. Der Hochleistungslaser ist die erste Komponente des Werkzeugs und dient zur Erzeugung eines intensiven Lichtstrahls. Der Strahl ist fein abgestimmt, so dass er, wenn er auf einen Wafer oder eine Maske gerichtet ist, verschiedene Merkmale des Produkts beleuchtet. Der Strahl kann kleine Fehler wie fehlende Beschichtungen, Kanten, Oberflächenmerkmale und mehr erkennen. Die ausgeklügelte Optik ermöglicht es KLA Archer AIM, verschiedene Produkte im Detail zu inspizieren. Die Optik polarisiert und dispergiert den Laserstrahl präzise, so dass er fragile Einzelätzstrukturen sowohl auf der Maske als auch auf dem Wafer identifizieren kann. Es kann auch falsche Registrierung und/oder schlechte Bindung an den Nähten des Produkts lokalisieren, mit verbesserten Erkennungsfunktionen. Das bildgebende Modell des Objekts besteht aus CCD-Zeilenkameras, die das Bild des Produkts mit jedem Zeilenscan erfassen. Das aufgenommene Bild wird durch eine Fehlermanagementeinrichtung geleitet, die die Fehler mit ihren fortgeschrittenen Algorithmen identifiziert. Erkannte Mängel können dann gekennzeichnet werden, bevor das Produkt in die Produktionslinie gelangt. Neben seinen Inspektionsmöglichkeiten bietet TENCOR Archer AIM auch Inline-Messtechnik-Lösungen für eine breite Produktpalette an. Diese messtechnischen Messungen können bei Inspektionen direkt am Monitor ausgelesen werden, was eine schnelle und einfache Qualitätskontrolle ermöglicht. Um das Beste aus dem Archer AIM-System zu machen, können Benutzer verschiedene Reporting und Workflow-Management-Tools verwenden. Dies trägt dazu bei, dass die Ergebnisse in einer zentralen Datenbank genau verfolgt und gepflegt werden. Abschließend ist KLA/TENCOR Archer AIM eine robuste, zuverlässige und präzise Masken- und Wafer-Inspektionseinheit. Es ist in der Lage, Fehler schnell und präzise zu erkennen und zu identifizieren, was es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen macht. Die Maschine bietet auch Inline-Messtechnik-Lösungen und andere Funktionen, um Anwendern zu helfen, ihren Produktionsprozess zu rationalisieren.
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