Gebraucht KLA / TENCOR Archer AIM #9180730 zu verkaufen

KLA / TENCOR Archer AIM
ID: 9180730
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer AIM ist eine „Masken- und Wafer-Inspektion“ -Ausrüstung, die verwendet wird, um Fehler an den Masken- und Wafer-Fertigungsstufen der Halbleiterherstellung zu erkennen und zu identifizieren. Das KLA Archer AIM-System ermöglicht integrierten Chip-Herstellern die Fehlererkennung zu erhöhen und Musterfehler schneller und genauer als je zuvor zu identifizieren. Es beinhaltet eine neue Inspektionstechnologie - maschinelles Lernen - um das breite Spektrum an Masken- und Waferdefekten genau zu identifizieren. TENCOR Archer AIM-Einheit verwendet eine Kombination aus Optik, Bilderfassung und integrierter Software, um Fehler an Wafer- und Maskenmustern zu erkennen und zu identifizieren. Machine Learning ist in die Maschine integriert, um eine schnellere und genauere Fehlererkennung zu ermöglichen. Es verwendet eine fortschrittliche Bildgebungs- und Datenerfassungstechnik namens „Breitenabbildung“, die ein Weitwinkelobjektiv und mehrere Belichtungen verwendet, um ein einzelnes Maskierungs- oder Waferbild zu erstellen. Dadurch kann das Werkzeug ein Masken- oder Wafermuster mit seiner entsprechenden visuell inspizierten Konstruktion vergleichen, um Fehler zu erkennen und zu klassifizieren. Archer AIM verwendet auch eine Vielzahl fortgeschrittener Bildverarbeitungstechniken, um Fehler zu erkennen und zu klassifizieren. Das Asset verwendet die „Superpixel“ -Technologie, um mehrere Fehler in unmittelbarer Nähe zueinander zu trennen. Es nutzt auch die „Kantenerkennung“, um kleine Unterschiede zwischen Mustern zu identifizieren, die auf fehlerhafte Muster aufgrund von Fehlstellungen oder Verschmutzungen hinweisen können. Das Modell wird durch die Funktion „Empfindlichkeitsanpassung“ weiter verbessert, mit der Benutzer die Fehlererkennungsschwelle des Geräts anpassen können, um die Fehlererkennungsraten zu maximieren. Die Komponenten des Systems KLA/TENCOR Archer AIM sind über eine einheitliche Einheit integriert, die Anwendungssoftware, Netzwerkspeicher, eine Datenerfassungs-/Kontrollstation und einen Bildprozessorcontroller umfasst. Die Bildprozessorsteuerung ist für die Erfassung, Analyse und Speicherung von Fehlerbildern zuständig, während die Datenerfassungs-/Kontrollstation zur Steuerung von Maschinenparametern wie Masken- und Waferpositionen, Belichtungen und Belichtungsdauer dient. KLA Archer AIM Tool kann für eine Vielzahl von Maskenmustern und Wafertypen verwendet werden. Es verfügt über eine Hochleistungs-Scan-Rate und ist in der Lage, routinemäßig große Bereiche einer einzelnen Maske oder eines Wafermusters in kurzer Zeit zu scannen. Das Asset ist auch in der Lage, Tausende von Bildern pro Stunde zu erfassen und Fehlerberichte oder Bilder schnell zu erzeugen. TENCOR Archer AIM Modell liefert konsistente und zuverlässige Inspektionsergebnisse. Archer AIM ist mit seiner hohen Geschwindigkeit und seiner überlegenen Fehlererkennung ein leistungsstarkes Werkzeug für Hersteller, um die Integrität ihrer Produkte zu gewährleisten und gleichzeitig ihre Kosten zu senken.
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