Gebraucht KLA / TENCOR Archer AIM+ #9226067 zu verkaufen

KLA / TENCOR Archer AIM+
ID: 9226067
Wafergröße: 12
Weinlese: 2007
Overlay inspection system, 12", 2007 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM + ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die für die kostengünstige, genaue und automatisierte Inspektion von Retikeln, Anzeige-/Projektionsmasken, Fotomasken und Wafern entwickelt wurde. Es bietet eine umfassende optische Inspektionsmöglichkeit, die sowohl die Inline- als auch die Offline-Inspektion verschiedener Masken, Wafer und anderer lebenswichtiger Substratmaterialien abdeckt. KLA Archer AIM + System ist mit einer proprietären LED- und CCD-basierten digitalen Zeilenabtastung ausgestattet. Mit diesem Design ist das Gerät in der Lage, sowohl Offline- als auch Inline-Konfigurationen zu automatisieren und zu analysieren. Die in die Maschine eingebauten Bildgebungs- und Detektionsalgorithmen bieten Anwendern eine Vielzahl von Analysefunktionen, einschließlich Fehlererkennung und Klassifizierung sowohl für undurchsichtige als auch transparente Masken, Oberflächenanalyse und Flächeninspektion von Kontaktlöchern sowie Messung und Ausrichtung von Geräteparametern. Das Werkzeug ermöglicht auch die automatisierte Kantenmessung einer breiten Palette von Retikeln, einschließlich großflächiger und dichter Kontaktlöcher. Diese Funktion ermöglicht eine schnelle und zuverlässige Kalibrierung und Messung, was zu einem Bruchteil der normalerweise benötigten Zeit führt. TENCOR Archer AIM + bietet zahlreiche Möglichkeiten zur Fehlerklassifizierung und bietet Anwendern je nach individuellem Bedarf und Anwendungsfall unterschiedliche Möglichkeiten. Dazu gehört eine „Learn-it“ -Methode, die es Anwendern ermöglicht, Defekte basierend auf hochauflösenden Mikroskopiebildern in echte Defekte gegenüber prozessinduzierten Effekten zu klassifizieren. Diese Methode eignet sich besonders für fortgeschrittene Spezialphotomasken mit hochkomplexen Strukturen. Darüber hinaus ist das Asset in der Lage, Maskeninspektion mit der höchsten Auflösung bis zu 100nm. Diese Auflösung bietet eine aufschlussreiche Analyse der Bildmerkmale und Formmerkmale und ermöglicht die Erkennung selbst kleinster Fehler. Das Modell ist auch in der Lage, eine breite Palette von Wafer-Level-Vergleichsdiagrammen für die Echtzeit-Prozesssteuerung und -überprüfung zu erstellen. Der Archer AIIM + verfügt zudem über eine Reihe zusätzlicher Funktionen, darunter autofokussierte Einstellungen und eine flexible Bildvisualisierung, um Fehler leichter erkennen zu können. Darüber hinaus können Benutzer die Softwareeinstellungen je nach aktuellem Bedarf und Eingabeeinstellungen konfigurieren. Darüber hinaus ist das Gerät auch in einer Vielzahl von Konfigurationen verfügbar, von einzelnen Bildmasken bis hin zu Aufträgen an mehreren Standorten und mehreren Prozessstufen. Archer AIM + ist ein modulares System, mit dem Anwender das Gerät je nach Bedarf einfach nach oben oder unten skalieren können. Es ist auch in einer Reihe von Leistungsoptionen, von 140-400 Watt, und ist kompatibel mit PC und Mac-Plattformen. Darüber hinaus ist die Maschine auch in der Lage, OCR-zertifizierte Netzwerkprotokolle und CAD-freundliche Datenerfassung und -übertragung zu unterstützen. Insgesamt ist das Tool KLA/TENCOR Archer AIM + eine leistungsstarke Masken- und Waferinspektionsanlage, die mit einem umfassenden Werkzeugsatz für genaue und effiziente Bildgebung und Analyse ausgestattet ist. Es ist eine ideale Wahl für Produktions- und Forschungsanwendungen.
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