Gebraucht KLA / TENCOR Archer AIM #9231862 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9231862
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Overlay inspection system, 12"
With ASYST IsoPort 9700-9129-01 Rev K load port
Dual load ports EFEM
With ASYST IsoPort
Signal light tower
BROOKS AUTOMATİON Handler with pre-aligner and robot
Robot controller
Handler
I/O Interface board
Motion controller
Optic
Z-Stage
Pneumatic box (Air and vacuum module)
Computer
Keyboard and mouse
Operator console
Monitor
Floppy Disk Drive (FDD)
CD ROM Drive
Tape drive
Printer
EMO
Shelf
Floatation damaged
Missing parts:
SBC Controller
Floatation controller
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply:
230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase
208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase
2003 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM ist ein automatisiertes Masken- und Wafer-Inspektionssystem, das hochauflösende Bilder eines Substrats mit bis zu 7 μ m Pixelauflösung erfasst und anschließend auf Defekte analysiert. Es ist in der Lage, schnelle und genaue Inspektionen von hochwertigen Wafer- und Maskensubstraten wie Flash-Speicher, LCDs und erweiterte Funktionsgrößen durchzuführen. Die hochauflösenden Bilder werden von einer Reihe von Softwaremodulen analysiert und ausgewertet, die Muster vergleichen, um Herstellungs- und Montagefehler zu identifizieren. Es umfasst Werkzeuge wie On-Wafer Defektivitätsanalyse, kritische Dimension (CD) Messung und elektrische Testfähigkeit. Es bietet auch zerstörungsfreie physikalische Fehleranalyse, einschließlich Filmriss und thermische Belastungsanalyse. Das System kann Inspektionsaufträge für den Benutzer erstellen, mit einfach zu bedienender Front-End-Software zur anwendungsspezifischen Auftragsauswahl und -manipulation. Es verfügt über eine leistungsstarke, maßgeschneiderte Benutzeroberfläche für die Ausführung von Masken- und Waferinspektionsaufträgen zur Ertragsoptimierung. Das System verbindet sich mit einer Vielzahl von Robotern zur Handhabung von Wafern oder Maskenrohlingen verschiedener Anbieter. Die integrierte Fehlerüberprüfungslösung bietet eine sichere Überprüfungsumgebung für detaillierte Analysearbeiten an den vom Inspektionstool gesammelten Bildern. Es verfügt über eine klassenführende Bildtreue, die einen schnellen Fehlervergleich eines gesamten Wafers oder einer leeren Maske ermöglicht. Das Review-Tool enthält auch ausgefeilte Mustererkennungswerkzeuge, die bei der Suche nach Fehlerclustern helfen. Insgesamt bietet KLA Archer AIM eine robuste und zuverlässige Lösung für die Masken- und Waferinspektion. Seine ausgeklügelten Softwaremodule, kombiniert mit seiner hochauflösenden Bildgebungsfähigkeit, machen es zu einer idealen Wahl für fortgeschrittene physikalische Fehleranalysen, CD-Messungen und elektrische Tests. Die integrierte Fehlerüberprüfungslösung hilft Anwendern auch, Fertigungs- und Montagefehler schnell und präzise zu ermitteln.
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