Gebraucht KLA / TENCOR Archer AIM #9231862 zu verkaufen

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ID: 9231862
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Overlay inspection system, 12" With ASYST IsoPort 9700-9129-01 Rev K load port Dual load ports EFEM With ASYST IsoPort Signal light tower BROOKS AUTOMATİON Handler with pre-aligner and robot Robot controller Handler I/O Interface board Motion controller Optic Z-Stage Pneumatic box (Air and vacuum module) Computer Keyboard and mouse Operator console Monitor Floppy Disk Drive (FDD) CD ROM Drive Tape drive Printer EMO Shelf Floatation damaged Missing parts: SBC Controller Floatation controller Hard Disk Drive (HDD) Power supply: 230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase 208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase 2003 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM ist ein automatisiertes Masken- und Wafer-Inspektionssystem, das hochauflösende Bilder eines Substrats mit bis zu 7 μ m Pixelauflösung erfasst und anschließend auf Defekte analysiert. Es ist in der Lage, schnelle und genaue Inspektionen von hochwertigen Wafer- und Maskensubstraten wie Flash-Speicher, LCDs und erweiterte Funktionsgrößen durchzuführen. Die hochauflösenden Bilder werden von einer Reihe von Softwaremodulen analysiert und ausgewertet, die Muster vergleichen, um Herstellungs- und Montagefehler zu identifizieren. Es umfasst Werkzeuge wie On-Wafer Defektivitätsanalyse, kritische Dimension (CD) Messung und elektrische Testfähigkeit. Es bietet auch zerstörungsfreie physikalische Fehleranalyse, einschließlich Filmriss und thermische Belastungsanalyse. Das System kann Inspektionsaufträge für den Benutzer erstellen, mit einfach zu bedienender Front-End-Software zur anwendungsspezifischen Auftragsauswahl und -manipulation. Es verfügt über eine leistungsstarke, maßgeschneiderte Benutzeroberfläche für die Ausführung von Masken- und Waferinspektionsaufträgen zur Ertragsoptimierung. Das System verbindet sich mit einer Vielzahl von Robotern zur Handhabung von Wafern oder Maskenrohlingen verschiedener Anbieter. Die integrierte Fehlerüberprüfungslösung bietet eine sichere Überprüfungsumgebung für detaillierte Analysearbeiten an den vom Inspektionstool gesammelten Bildern. Es verfügt über eine klassenführende Bildtreue, die einen schnellen Fehlervergleich eines gesamten Wafers oder einer leeren Maske ermöglicht. Das Review-Tool enthält auch ausgefeilte Mustererkennungswerkzeuge, die bei der Suche nach Fehlerclustern helfen. Insgesamt bietet KLA Archer AIM eine robuste und zuverlässige Lösung für die Masken- und Waferinspektion. Seine ausgeklügelten Softwaremodule, kombiniert mit seiner hochauflösenden Bildgebungsfähigkeit, machen es zu einer idealen Wahl für fortgeschrittene physikalische Fehleranalysen, CD-Messungen und elektrische Tests. Die integrierte Fehlerüberprüfungslösung hilft Anwendern auch, Fertigungs- und Montagefehler schnell und präzise zu ermitteln.
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