Gebraucht KLA / TENCOR Archer AIM+ #9236390 zu verkaufen

KLA/TENCOR Archer AIM + ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die für die Herstellung fortschrittlicher integrierter Schaltungen entwickelt wurde. Für hochauflösende Messungen von Zusammensetzung, Muster und Fehlererkennung bietet das System prozesskritisches Performance-Feedback an Fabs und Metrologielabors. Das Gerät verfügt über eine 2K hochauflösende Bildverarbeitungsmaschine mit integrierter Software, erweiterten Fehlererkennungsalgorithmen und integrierten Prozesssteuerungsfunktionen. Die hochauflösende Bildgebung ist in der Lage, Defekte bis auf den Sub-Mikron-Pegel zu erkennen, zu lokalisieren und zu messen. Die integrierte Software-Suite umfasst präzise Messungen von gemusterten Merkmalen, optischer Verzerrung, Dünnschichtdicke, Linienauflösung und Oberflächenreflektivität. KLA Archer AIM + Werkzeug ist mit einer 3D-toleranten Inspektionstechnologie gebaut, die es ermöglicht, subtile Variationen in der Geometrie einer Struktur zu erkennen. Das Asset bietet auch fortschrittliche Fehlererkennungsalgorithmen, die in der Lage sind, eine Vielzahl von kritischen Defekten wie Partikel, Werkzeugmarken, Überbrückung und Fehlausrichtung von Overlay zu erkennen und zu klassifizieren. Das Modell ist mit fortschrittlichen Software-Tools ausgestattet, die es den Fertigungsteams ermöglichen, die Daten in Echtzeit zu analysieren, zu modifizieren und zu überprüfen, sowie mit einer Inline-Prozesssteuerungsfunktion, die die Implementierung von Korrekturmaßnahmen ermöglicht, die die Fehlerquote reduzieren können. Das Gerät ist mit einer robusten benutzerzentrierten Plattform ausgestattet, die es ermöglicht, benutzerdefinierte Präferenzen für Waferinspektionsprozesse anzupassen. Dies gewährleistet eine schnellere und effizientere Analyse, indem der Zeitaufwand für die Einrichtung des Tools für jede Datenerfassungsaufgabe verringert wird. Das System ist vollständig flexibel und konfigurierbar und kann verschiedene Arten von Strukturen, Prozessrezepten und Inspektionsumgebungen aufnehmen. Schließlich kann das Gerät leicht aktualisiert und verbessert werden, um seine Leistung zu maximieren und eine Umstellung auf einen automatisierteren und effizienteren Wafer-Inspektionsprozess zu ermöglichen. Die erweiterbaren Funktionen bieten eine Plattform für Produktionsskalierbarkeit und verbesserte Ertragsüberwachung. Die einfach zu bedienende Benutzeroberfläche bietet einen umfassenden Maßsatz und ermöglicht es dem Anwender, mit einem Knopfdruck Toleranzen schnell anzupassen und Protokolle zu ändern.