Gebraucht KLA / TENCOR Archer AIM+ #9237846 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9237846
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Overlay inspection system, 12"
(2) ASYST IsoPort SMIF Systems
(2) Load ports
Handler system: Modular wafer handler, 12"
HLS Lamp
YASKAWA Robot
Options:
CMP Option (Low contrast target measurement)
Multi-layer XY separation
RDM V3XX Tool client license
Archer analyzer on-tool client license
Archer analyzer Pro-5 license
Tool internal camera for surveillance
Automation:
GEM/SECS and RS232
HSMS
E84 Enablement for OHT & AGV/RGV
E87 Carrier management services (Based on E39)
E40 Process job management
E94 Control job management
E90 Substrate tracking
(2) Advantage radio frequency (RF) carrier ID readers
Light tower
EMO Shield
Network interface: HSMS, GEM/SECS
SEMI Wafer standard with notched orientation
Cassette type: 25 Wafer FIMS-ENTEGRIS Spectra 26 slots
FOUP 25 Slots
Factory interface items, material interface, LP:
(2) FOUPs
Dual FIMS ENTEGRIS
Top shelter for subfab components
Side panels
Chemical filters for FFU: Air inlet of fan force
Options:
CMP Option (Low contrast target measurement)
Multi-layer XY separation
RDM V3XX Tool client license
Archer analyzer on-tool client license
Archer analyzer Pro-5 license
Tool internal camera for surveillance
UPS
Manuals included
Power supply: 230 V, 50 Hz, 15 A, Single phase
2005 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM + ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die den Prozess der Identifizierung, Überprüfung und Validierung von Fehlerdaten in der Halbleiterindustrie rationalisieren soll. Das System ist eine umfassende Lösung, die leistungsstarke Software und Hardware von UCK verwendet. Es verwendet eine Kombination von Inspektionstechnologien, einschließlich hochauflösender Wafer-Bildgebung, automatisierter Mustererkennung und 3D-Fehleranalyse, um schnelle, präzise und wiederholbare Ergebnisse zu liefern. Die Einheit besteht aus einer Haupteinheit und einem Mikroskop. Die Haupteinheit beherbergt den Laserscanner, den Wafer-Handler, den optischen Projektor, den Bildverarbeitungsprozessor und die Fehlerprüfmaschine. Das Mikroskop, das mit der Haupteinheit verbunden ist, ist ein hochauflösendes digitales Abbildungswerkzeug, das detaillierte Bilder von Merkmalen auf der Waferoberfläche bei verschiedenen Vergrößerungen liefert. KLA Archer AIM + nutzt eine Kombination aus Fehlerüberprüfungssoftware und Hardware-Peripheriegeräten, um Fehler zu erkennen und zu analysieren. Fehler werden in Echtzeit erfasst und verarbeitet, wobei hochauflösende Bildgebungs- und modernste automatisierte Fehleranalysetechnologien verwendet werden. Durch eine Kombination aus Mustererkennung und 3D-Analysealgorithmen identifiziert, zählt und klassifiziert das Asset Fehlertypen auf dem Wafer genau. Das Modell umfasst eine intuitive Benutzeroberfläche zur Überprüfung und Validierung von Fehlern sowie zur Anpassung des Fehlerfilters und zur Einrichtung einer automatischen Fehlerprüfung. Das Gerät umfasst auch eine Reihe von vordefinierten Tools zur Ertrags-, Fehler- und Zuverlässigkeitsanalyse, um die Ergebnisse auf Ertrags-, Fehlerwerte und andere wichtige Kennzahlen zu analysieren. Diese Werkzeuge liefern wertvolle Einblicke in den Herstellungsprozess, um die Produktqualität und den Ertrag im Laufe der Zeit zu verbessern. TENCOR Archer AIM + System ist ein leistungsstarkes Werkzeug zur Verbesserung der Produktqualität in der Halbleiterindustrie. Es liefert schnelle, präzise und wiederholbare Ergebnisse und bietet eine Reihe von Tools, um eine effektive Fehlerüberprüfung und Ertragsanalyse zu ermöglichen. Das Gerät ist eine hochautomatisierte und zuverlässige Lösung für die Masken- und Waferinspektion und lässt sich problemlos in bestehende SEMIConductor Prozesse und Systeme integrieren.
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