Gebraucht KLA / TENCOR Archer XT+ #293604014 zu verkaufen

KLA/TENCOR Archer XT + ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage zur großflächigen Fehlererkennung mit automatisierter Durchsatzoptimierung. Es wurde entwickelt, um Empfindlichkeitstests am Produkt und nach dem Ätzen durchzuführen, um die Produktionsausbeute zu verbessern und Fertigungstests am Ende der Serie durchzuführen. Das Schausystem besteht aus einer optischen Spezialdefektentdeckungseinheit / Halbleiter-Defektentdeckungseinheit. Es verfügt über einen 5-Achsen-mehrdimensionalen Scankopf, der hochauflösende Bildgebungsfunktionen bei hohen Bildgeschwindigkeiten ermöglicht. Die Maschine umfasst auch MultiSense2 Equalization Technology, die dazu beiträgt, die Ungleichmäßigkeit im gesamten Sichtfeld zu reduzieren. Das Werkzeug ist mit einem erweiterten optischen Teilsystem ausgestattet. Es ist in der Lage, kleinere Defekte wie Partikel und Kratzer mit einer beeindruckenden Auflösung von 0,040 Mikron zu erkennen, was hilft, Partikelfehler genau zu identifizieren. Die Anlage bietet eine erweiterte Lärmimmunität für die frühzeitige und genaue Erkennung echter Mängel. Darüber hinaus bietet das Modell durch seine fortschrittliche MultiSense2 Equalization Technology erweiterte Fehlerverhinderungsfunktionen. KLA Archer XT + wurde entwickelt, um selbst komplexeste Masken- und Waferstrukturen mit seinem mehrdimensionalen Scankopf mit Hilfe seiner proprietären Equalization Technology schnell zu verarbeiten. Es ist in der Lage, große Flächen schnell und genau zu inspizieren, auch auf anspruchsvollen Substraten wie mit eng beabstandeten Mustern. Mit der hohen Geschwindigkeit, der hohen Auflösung und der automatisierten Durchsatzoptimierung des Geräts bietet TENCOR Archer XT + die ultimativen Funktionen zur On-Produkt- und Post-Etch-Fehlererkennung. Das System ist mit einer breiten Palette von Messtechnik und Fehlercharakterisierungstools kompatibel und unterstützt die automatisierte Durchsatzverfolgung und -optimierung. Darüber hinaus bietet KLA eine Reihe integrierter Softwarepakete zur Steigerung der Effizienz. Dazu gehören erweiterte Prozesssteuerungs- und Musterabstimmungsalgorithmen, die eine vollständige Steuerung und Optimierung der Inspektionseinheit bieten. Abschließend ist Archer XT + eine leistungsstarke und vielseitige Masken- und Wafer-Inspektionsmaschine. Es bietet erweiterte optische Teilsystemfunktionen sowie MultiSense2 Equalization Technology, um ultimative Empfindlichkeit und Genauigkeit bei der Fehlererkennung zu bieten. Das Tool unterstützt auch erweiterte Softwaresteuerungs- und Automatisierungsfunktionen, um einen maximalen Durchsatz zu gewährleisten.