Gebraucht KLA / TENCOR Archer XT #9034312 zu verkaufen

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ID: 9034312
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer XT ist eine fortschrittliche Masken- und Waferinspektionsanlage, die für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Das System verfügt über Hochgeschwindigkeits-, Hochpräzisions-, 3D-Inspektion von Masken und Wafern; und ausführliche Analyse- und Charakterisierungswerkzeuge bereitstellt, die für die wichtigsten Anforderungen an die Masken- und Wafer-Fehlerinspektion ausgelegt sind. KLA Archer XT basiert auf fortschrittlichen optischen, Software- und Bildgebungstechnologien der KLA und bietet eine breite Palette automatisierter Funktionen wie Fehlererkennung, Fehlerklassifizierung und Bildanalyse. Die Einheit ermöglicht eine schnellere Fehlererkennung und -identifizierung und beschleunigt den Prozess der Erkennung, Lokalisierung und Charakterisierung von Fehlern an Wafern und Masken, ohne auf Genauigkeit zu verzichten. TENCOR Archer XT bietet vier bildgebende Systeme - helles Feld, helles Feld mit niedrigem Winkel, dunkles Feld und Fluoreszenz -, die helfen, eine breite Palette von Fehlertypen zu unterstützen. Es bietet auch erweiterte Algorithmen und Nachbearbeitungsfunktionen wie musterbasierte Gruppierung, Fehlerklassifizierung und erweiterte Analysen, die die Klassifizierung von Fehlern weiter unterstützen. Archer XT Maschine ist sehr anpassbar und kann konfiguriert werden, um spezifische Anforderungen zu erfüllen. Um seine erweiterten Fehlerinspektionsmöglichkeiten weiter zu unterstützen, verwendet das Tool einen multikonfigurierbaren Waferhalter, der eine erstklassige Fehlerinspektionsfähigkeit bietet. Es verfügt auch über ein modulares Design ermöglicht Erweiterbarkeit, und einfache Wartung und Upgrade. Das Asset verfügt über eine SFOV-Funktion (Small Field of View), mit der weniger als 100 nm Konstruktionsregeln angezeigt und geprüft werden können. Die SFOV-Technologie schafft eine Umgebung mit erhöhter Screening-Genauigkeit und Schärfe, die größere Fehlererkennungsfunktionen ermöglicht. KLA/TENCOR Archer XT ist auf Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und bietet umfassende Tools für die Entwicklung, Analyse und Bewertung von Ertragsmanagement und Prozesskontrolle. Das Modell kann in TENCOR Inspektions- und Ertragsmanagementsysteme integriert werden und ermöglicht zusätzliche Automatisierungs- und Datenintegrationsmöglichkeiten. Mit seinen erweiterten Erkennungsfunktionen und der benutzerfreundlichen Schnittstelle bietet KLA Archer XT eine komplette Masken- und Wafer-Inspektionslösung. Das System bietet dreidimensionale Inspektionen von Masken und Wafern, eingehende Analyse und Charakterisierung von Defekten, SFOV-Fähigkeiten und automatisierte Datenerfassung und -analyse. TENCOR Archer XT unterstützt die strengsten Anforderungen an die Halbleiterherstellung und ist die ideale Wahl für jede Organisation, die ihre Masken- und Waferausbeute maximieren möchte.
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