Gebraucht KLA / TENCOR Archer XT+ #9221909 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9221909
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Overlay measurement system, 12"
EFEM
2007 vintage.
KLA/TENCOR Archer XT + ist eine vollständig integrierte Masken- und Waferinspektionsanlage für fortschrittliche Prozessknotentechnologien. KLA Archer XT + integriert fortschrittliche Scanelektronenmikroskopie (SEM) -Technologie und eine hochempfindliche Kontaktbildgebungstechnologie in einem integrierten Paket. Es ermöglicht hochauflösende, 3D-Mehrschicht-Strukturierung Visualisierung und Messungen mit 10x oder mehr Auflösung. TENCOR Archer XT + System verfügt über eine leistungsfähige, optische Mikroskopie-basierte Ausrichtungseinheit, die die Genauigkeit der Strukturierung auf Nanometerebene erreicht. Die Ausrichtmaschine wurde entwickelt, um die Inspektionszeit zu reduzieren, die Datengenauigkeit zu verbessern und die Ausbeute komplexer Prozesse wie EUV, Doppel- oder Dreifachmuster, Kupferabscheidung zu erhöhen. Das Tool verfügt auch über ein Multi-Layer-Imaging-Asset, das eine Visualisierung von 3D-Mustern mit hoher Auflösung ermöglicht. Das mehrschichtige Abbildungsmodell verwendet eine Kombination aus SEM- und Elementaranalyse, um hochauflösende 3D-Bilder der gemusterten Schichten zu erzeugen. Archer XT + -Geräte integrieren zudem eine hochempfindliche Kontaktbildtechnologie zur Fehlererkennung und Mustererkennung. Diese Technologie ermöglicht eine hochempfindliche Erkennung und Charakterisierung von Defekten auch bei sehr kleinen, dichten Strukturen. Es ermöglicht auch eine Fehleranalyse auf Funktionsebene und eine umfassende Fehlerklassifizierung. Darüber hinaus bietet das System KLA/TENCOR Archer XT + erweiterte Tools zur Fehlerklassifizierung und Datenanalyse. Mit diesen Tools kann der Benutzer Fehlerdaten schnell analysieren, Fehler klassifizieren und Ursachen identifizieren. Die Einheit integriert auch mit einer Reihe von Drittanbieter-Automatisierungschips für verbesserten Durchsatz. KLA Archer XT + bietet eine umfassende Lösung für die Masken- und Waferinspektion. Seine fortschrittliche Rasterelektronenmikroskopie, hochauflösende Bildgebung, Fehlererkennung und Datenanalyse-Tools bieten eine leistungsstarke, leistungsstarke Lösung für fortschrittliche Prozessknoten. Es eignet sich sowohl für Gießereien als auch für fabless Kunden, die den Ertrag verbessern und die Kosten senken möchten.
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