Gebraucht KLA / TENCOR Archer XT+ #9231431 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9231431
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Overlay measurement system, 12"
2007 vintage.
KLA/TENCOR Archer XT + Masken- und Wafer-Inspektionsgeräte sind ein umfassendes Web-Control-System zur Inspektion komplexer Masken- und Wafer-Muster. Das Gerät nutzt eine Vielzahl fortschrittlicher Technologien, um komplexe Defekte auf Nanometerebene zu erkennen und zu beheben, wodurch höchste Prozessgenauigkeit und -ausbeute gewährleistet sind. Die XT + -Maschine umfasst eine fortschrittliche DD & C-Technologie (Defect Detection & Classification), die eine Vielzahl von optischen Techniken und anspruchsvollen Bildverarbeitungstechniken kombiniert, um Submikrondefekte in Masken- und Wafermustern zu erkennen und zu lokalisieren. DD&C verwendet Algorithmen, die eine Vielzahl von Optionen analysieren, einschließlich Luftbilder, Streuung, Fotomaskenbilder, Fokussequenzen, Aktivphasenkontrast, schwache Streuung und Dunkelfeldbildgebung. Das Werkzeug kann kleine Funktionsgrößen erkennen sowie kritische Fehler wie Strukturfehler, Fotomaskendefekte und eingeklemmte Ladungen identifizieren. Das XT + Asset ist zudem mit einer Litho-Messtechnik-Plattform ausgestattet, die eine Submikron-Inspektion von dimensionalen Lang- und Kurzsteigungsmerkmalen ermöglicht. Dies führt zu einer kritischen Reduzierung der Fehlerdichte, was zu einer verbesserten Prozesskontrolle und einer verbesserten Produktivität führt. Das XT + beinhaltet eine Film-Stress-Messtechnik, die es Anwendern ermöglicht, die Linearität von Merkmalen zu messen, eine genauere Prozessmodellierung und eine bessere Beschaffung hochwertiger Materialien zu ermöglichen. Das Modell ist zudem mit einer automatisierten Critical Dimension (CD) Messtechnik ausgestattet, die eine präzise Messung von Prozessvariationen über den gesamten Wafer ermöglicht. Die XT + -Ausrüstung ist in der Lage, mithilfe fortschrittlicher Mustererkennungstechniken eine automatisierte Rückverfolgung und Fehlerortung vorzunehmen. Darüber hinaus verfügt es über ein intelligentes Schnellregistrierungssystem zur schnellen Fehlerklassifizierung und -verifizierung. Das XT + bietet auch mehrere Web-Control-Sicherheitsfunktionen wie einen Bildschirmsperre-Timer, Zugriffskontrolle und Datenverschlüsselung. Die Masken- und Wafer-Inspektionseinheit KLA Archer XT + ist eine umfassende Maschine zur Inspektion komplexer Masken- und Wafer-Muster. Die Kombination aus fortschrittlichen DD & C-Technologien, Litho-Metrologie-Plattform, Film-Stress-Messtechnik und automatisierter CD-Messtechnik bietet höchste Genauigkeit und Ausbeute. Automatisierte Fehlerverfolgung, Fehlerortung und intelligente Mängelregistrierung sorgen für eine schnelle Fehlerklassifizierung und Verifizierung. Darüber hinaus verfügt das XT + Tool über mehrere Web-Control-Sicherheitsfunktionen für mehr Sicherheit. Dies macht TENCOR Archer XT + Maske und Wafer Inspektion Asset eine ausgezeichnete Wahl für die Inspektion von komplexen Wafern und Masken.
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