Gebraucht KLA / TENCOR Archer XT+ #9272511 zu verkaufen
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ID: 9272511
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
Overlay measurement system, 12"
(2) Load ports
Power supply: 208 V, ±10%, 3 Phase
2010 vintage.
KLA/TENCOR Archer XT + ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die sowohl sehr hochauflösende 2D- als auch 3D-Scans von Herausforderungen wie dichten Mustern, Kontaktlöchern mit hohem Seitenverhältnis, kontrastarmen Merkmalen, Derivaten usw. ermöglicht. Das System sorgt für schnellere Zykluszeit, höhere Fehlererkennungsraten, bessere Fehlerklassifizierungsgenauigkeit und verbesserte Ergebnisse mit erfahrungsbasierten Korrekturen. Angetrieben von fortschrittlicher Computational Imaging (CI) Technologie bietet KLA Archer XT + Halbleiterherstellern einen speziellen Blick auf komplexe Muster, um Fehler schnell und genau erkennen zu können. Es verfügt über eine Feldemissionselektronenstrahlquelle, die Wafer und Masken mit einer Reichweite von bis zu 25000X in einem einzigen Scan scannt und inspiziert. Unterstützt wird das Gerät durch eine hochmoderne automatisierte elektromagnetische Maschine für verbesserte Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Rückverfolgbarkeit. Darüber hinaus gibt es eine Reihe von Inspektionsmöglichkeiten für hochauflösende Masken und Retikles wie Overlay-Inspektion, Contrast Interest (CI) Inspektion und Design-for-Inspection (DFI) Fähigkeiten, die entworfen sind, um jeden Mikro-Level-Defekt im Muster zu erkennen. Darüber hinaus ist TENCOR Archer XT + mit anderen Funktionen wie: Automatisierte Betriebsmerkmale, die einen effizienten Betrieb gewährleisten. Erweiterte Fehlererkennungsfunktionen, die auf die Anforderungen der anspruchsvollsten Strukturen zugeschnitten sind. Umfassende Mängelklassifizierungen, die notwendige Details zu den festgestellten Mängelarten liefern. Eine leistungsfähige Image Data Acquisition (IDA) Software, die die Ergebnisse des Inspektionsprozesses leitet und überprüft. Erweiterbare Funktionen und Softwarepakete, die Benutzern helfen, mit den neuesten Technologien Schritt zu halten. Alle diese Funktionen ermöglichen es Benutzern, den Durchsatz zu maximieren, indem sie potenzielle Designprobleme frühzeitig erkennen, Fehler präzise priorisieren und den Ertrag mit einer Reihe von 3D-Effekten nach dem Scan beibehalten. Diese machen Archer XT + zu einem zuverlässigen und umfassenden Werkzeug zur Herstellung von Präzisionsmasken, Wafern und Geräten.
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