Gebraucht KLA / TENCOR Archer #9199198 zu verkaufen
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KLA/TENCOR Archer ist eine automatisierte, hochvergrößerte, Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die für Halbleiterherstellungsprozesse konzipiert ist. Es verwendet fortschrittliche Optik und Bildverarbeitungstechnologie, um Fehler auf verarbeiteten Masken- und Wafersubstraten zu erkennen und zu charakterisieren. Dieses System prüft Halbleiterscheiben und Masken genau auf eine Reihe von Fehlertypen wie Linien- und Punktmusterung, Spannung, Schmutz, ungleichmäßig gefüllte Schnittstellen und ungleichmäßig entwickelte Strukturen. Es kann auch elektrische Eigenschaften von festen Musterstrukturen messen. Das Gerät besteht aus zwei Komponenten: einer bildgebenden Maschine und einem Inspektionskopfmodul. Das bildgebende Werkzeug enthält einen großflächigen CCD (Charge-Coupled Device) zur Aufnahme von Fehlerbildern. Zusätzlich bietet ein hochauflösendes Mikroskop ein optisches Bild zur genauen Fehlerortung und Identifizierung. Ein einstellbares Beleuchtungselement ermöglicht es dem Modell, Masken der nächsten Generation mit engeren Toleranzen und komplexeren Mustern zu erstellen. Das Prüfkopfmodul umfasst ein spezielles Fehlermessungs-Subsystem, das mithilfe automatisierter Algorithmen Fehlercharakteristika berechnet. Das Modul ist mit einem genauen Ausrichtungs-Subsystem integriert, das sicherstellt, dass Linien- und Musterfunktionen auf dem Wafer und der Maske verglichen und korrekt ausgerichtet werden können. Die KLA Archer Ausrüstung ist für überlegene Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt und ermöglicht eine schnelle und präzise Inspektion und Messung. Es ist mit flexiblen Automatisierungslösungen konzipiert, die die Kosten senken und den Durchsatz von Halbleiterinspektionsprozessen erhöhen. Die Funktionen des Systems bieten eine hochwertige Lösung, mit der Halbleiterhersteller kritische Fehler schnell und genau erkennen und isolieren können. Dies hilft, überlegene Ausbeuten und verbesserte Qualität für Geräte zu erzielen, die mit verbesserten Prozessen und Materialien hergestellt werden.
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