Gebraucht KLA / TENCOR Archer #9386838 zu verkaufen

KLA / TENCOR Archer
ID: 9386838
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die in der Halbleiterherstellung zur Erkennung von Defekten auf der Oberfläche von Wafern verwendet wird. Das System besteht aus einem Bildsensor, einer Lichtquelle, optischen Komponenten und ausgeklügelten Software-Algorithmen. Es scannt jeden Wafer mit Mehrwellenlängenbeleuchtung und Phasenverschiebung, um Muster von hellen und dunklen Bereichen zu identifizieren, die Oberflächendefekte anzeigen. Der Bildsensor in der Einheit ist in der Lage, Muster hochauflösender Bilder aus verschiedenen Winkeln und in unterschiedlichen Tiefen zu erfassen. Dies ist durch die Verwendung von Hellfeld, Dunkelfeld, schräg und polarisierte Beleuchtung möglich. Die gesammelten Daten werden dann von den leistungsstarken Software-Algorithmen der Maschine verarbeitet und zu einem detaillierten 3D-Oberflächenbild kombiniert. Die Lichtquelle im Werkzeug ist eine hoch einstellbare und optimierbare Quelle für ultraviolettes und infrarotes Licht. Dieses Asset verwendet auch Funktionen wie Die-to-Die-Overlay und den Fokusvariationsmodus. Die-to-die-Overlay ermöglicht es dem Modell, verschiedene Scans zu vergleichen und Fokus Variation Modus bietet genauere und detaillierte Messungen. Die optischen Komponenten der Ausrüstung, wie Linsen, Spiegel und Filter, werden verwendet, um die Qualität der aufgenommenen Bilder zu verbessern. Die Linsen helfen, detaillierte Bilder genau zu erfassen, indem sie Licht in verschiedene Richtungen brechen, während die Filter verwendet werden, um unerwünschtes Rauschen aus den Bildern zu beseitigen. Die Spiegel helfen auch, den Bildsensor zu neigen und bieten einen anderen Bildwinkel. KLA Archer ist ein fortschrittliches Masken- und Wafer-Inspektionssystem, das Defekte mit einer Größe von bis zu 5 nm erkennen kann. Dieses Gerät verwendet die neuesten Technologien und ausgefeilte Algorithmen, um hochgenaue und detaillierte Bilder der Wafer zu erfassen. Es wurde entwickelt, um die Produktionseffizienz zu verbessern, Nacharbeit- und Austauschkosten zu reduzieren und Produkte von höchster Qualität zu gewährleisten.
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