Gebraucht KLA / TENCOR ATL-100 #293651145 zu verkaufen

KLA/TENCOR ATL-100 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die entwickelt wurde, um Fehler schnell und genau zu erkennen, die die Leistung eines Halbleiterbauelements beeinflussen könnten. Dieses System nutzt fortschrittliche Dual-View-Bildgebungstechnologie, um hochauflösende Bilder von Masken- und Waferoberflächen zu erzeugen. KLA ATL-100 Inspektionseinheit ist eine voll integrierte, automatisierte Maschine, die TENCOR ATL-100 Inspektionsplattform, den Scanning Spot Microscope (SSM) Sensor und pcom™ automatisierte Fehlerüberprüfungssoftware umfasst. ATL-100 bietet überlegene Fehlererkennungs-, Klassifizierungs- und Überprüfungsfunktionen durch Kombination von optischen Subwellenlängen- und Motion Vision AE-Algorithmen mit KLA renommierten Fehlerklassifizierungskompetenzen. KLA/TENCOR ATL-100 Inspektionsplattform kann eine Vielzahl von Masken wie B-Si, Polysilizium und FIB-Filamente und eine Vielzahl von Wafer-Technologien, einschließlich Lithographie, Sputtern und CMP inspizieren. Durch die Kombination von fortschrittlicher optischer Technologie und hochauflösenden Bildgebungssensoren bietet KLA ATL-100 eine Vollfeld-Fehlererkennung auf Kornrauschbasis, die eine Vielzahl von Defekteigenschaften abdeckt. Der Scanning Spot Microscope (SSM) Sensor ist eine integrierte optische Inspektionslösung, die mit Subwellenlängenauflösung Fehler an Photomasken, Wafern und Platzierungszielen erkennt. Der SSM-Sensor verwendet ein Feld der Ansicht, die an 1.5 Kilohertz zusammen mit einer Lichtquelle überqueren kann, die einen schnelllaufenden zeigt, Hochleistungs-Laser pulsiert hat. Der SSM-Sensor erfasst Fehlerbilder, die mit pcom™ automatisierten Fehlerüberprüfungssoftware angesehen und analysiert werden können. Die pcom™ automatisierte Fehlerüberprüfungssoftware ist ein vollautomatisches Fehlerüberprüfungstool, das aus einer Echtzeit-Fehlerverwaltung, Fehlerklassifizierung und Nachbearbeitungslösung besteht. Diese Fehlerüberprüfungssoftware verwendet einzigartige, selbstlernende Algorithmen, um den Status von Fehlern zuverlässig und genau zu erkennen, zu klassifizieren und zu melden, und bietet Benutzern ein umfassendes Fehlerbild und umfassende Funktionen zur Fehlererkennung von Unterwellenlängen. Darüber hinaus stärken die automatisierten Überprüfungsfunktionen des pcom™ Vermögenswertes die Inspektionsqualität und die Kosteneffizienz. Mit seinem integrierten Modell fortschrittlicher optischer und bildgebender Technologien, ausgeklügelter Fehlerüberprüfungssoftware und intuitiver Benutzeroberfläche ist TENCOR ATL-100 Masken- und Waferinspektionsgeräte eine fortschrittliche, führende Lösung. Dieses System bietet höchste Erträge und Genauigkeit bei gleichzeitiger Minimierung der Gesamtbetriebskosten durch Nutzung höchster Prüfgenauigkeit, automatisierter Fehlerüberprüfungsfunktionen und erweitertem Durchsatz.