Gebraucht KLA / TENCOR Candela CS20 #293607165 zu verkaufen
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KLA/TENCOR Candela CS20 ist eine führende Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die bis zu 200mm Halbleiterscheiben inspizieren kann. Dieses System nutzt die HDR-3000 hybride Mustererkennungstechnologie für die automatisierte Fehler- und Maskenregistrierung und bietet überlegene Empfindlichkeit und Genauigkeit. Das fortschrittliche optische Design des Geräts umfasst sechs UV- und sichtbare Kanäle, die es ermöglichen, verschiedene Arten von Funktionen auf der Maske oder dem Wafer zu überprüfen, wie Vollbild, Linienrand und Gitterobjekte. Darüber hinaus wurde die KLA CANDELA CS-20 entwickelt, um eine Reihe von Materialinspektionen, einschließlich Retikeln und Photomasken, mit ultrahohen Durchsatzleistungen und einer Produktlebensdauer von weniger als 10 Jahren zu unterstützen. Die Maschine ist mit hochmodernen Beleuchtungssystemen und Hardwarekomponenten ausgestattet, darunter Hellfeld, Schrägwinkel-Dunkelfeld, helles Dunkelfeld, polarisiertes Dunkelfeld und Schrägwinkel-Hellfeld. Das erweiterte Optik-Tool ist mit vier On-The-Fly (OTF) -Kameras ausgestattet, die Funktionen bis zu 1000x vergrößern können, so dass selbst kleinste Defekte an einem Wafer oder einer Maske erkannt werden können. TENCOR CANDELA CS 20 ist darüber hinaus mit einer automatisierten Fehlerüberprüfung (ADR) ausgestattet, die in der Lage ist, Druckablehnungen und X/Y-Übersetzungsfehler für die Musterplatzierung zu identifizieren sowie automatisierte Retikel für die Waferinspektion bereitzustellen. Darüber hinaus ist es mit Bildanalysesoftware ausgestattet, einschließlich Auto-Align, um die Ausrichtungsgenauigkeit und Imcover sicherzustellen, um Abdeckungskarten von metallischen und nichtmetallischen Merkmalsdefekten bereitzustellen. Das CS20 ist ideal für die Wafer- und Maskeninspektion und hat das Potenzial, den Gesamtfehlerstand um bis zu 40% zu reduzieren. Es erkennt, klassifiziert und bildet Fehler schnell ab, was eine schnellere Auflösung und die Reduzierung von Fehlalarmen ermöglicht. Darüber hinaus ist das Modell sehr zuverlässig, mit hohen Durchsatzleistungen und Fehlerzahlen, die mit den besten Branchenkonkurrenten vergleichbar sind. Neben seiner hervorragenden Leistung ist das KLA CANDELA CS 20 benutzerfreundlich und mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche konzipiert, sodass Benutzer die Fehler an einem Wafer oder einer Maske leichter überprüfen, analysieren und reparieren können. Insgesamt ist KLA/TENCOR CANDELA CS-20 eine leistungsstarke und zuverlässige Ausrüstung für die Masken- und Waferinspektion. Sein fortschrittliches optisches Design und automatisierte Systeme bieten eine genaue und hochempfindliche Inspektion, die eine rechtzeitige Reparatur von Defekten für höchsten Ertrag und Produktionsdurchsatz ermöglicht. Die benutzerfreundliche Oberfläche macht es auch einfach zu bedienen und hilft, Kosten und Zeit für selbst die komplexesten Inspektionsaufgaben zu reduzieren.
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