Gebraucht KLA / TENCOR Candela CS20 #293794286 zu verkaufen

ID: 293794286
Wafergröße: 2"-6"
Weinlese: 2008
Surface measurement system, 2"-6" Thickness: 240-900 µm Cassette handling: 150 mm Dual cassette for wafer sorting Illumination source: Laser: 50 mW Wavelength: 405 nm Operator interface: Trackball Standard keyboard Operating system: Windows XP 2008 vintage.
KLA/TENCOR Candela CS20 ist eine umfassende Masken- und Waferinspektionsausrüstung, die eine schnelle Fehlerinspektion ermöglicht. Das System ist mit einem breiten Sichtfeld ausgestattet, das für einen hohen Durchsatz mit bis zu 1000 Wafern pro Stunde ausgelegt ist. Sein hochauflösender 10,5 μ m Pixel Tonhöhendetektor sorgt für maximale Inspektionsabdeckung und Genauigkeit. KLA CANDELA CS-20 liefert genaue und zuverlässige Fehlererkennungs- und Musterüberlagerungsmessungen. Die hochpräzise Positioniermaschine des Geräts ermöglicht es seiner Oberflächenmapping-Technologie, die Topographie von gemusterten Geräten genau zu messen. Seine hochmoderne mehrschichtige Ausrichtungssteuerung passt die Bühnenpositionierung an, um präzise Überlagerungsmessungen zu gewährleisten. TENCOR CANDELA CS 20 bietet eine hocheffiziente Automatisierung für kritische Fab-Prozesse. Es verfügt über ein automatisiertes Multi-Die-Alignment-Tool zum schnellen Einrichten eines einzelnen Werkzeugs oder mehrerer Werkzeugprüfungen. Die Automatisierung auf Instrumentenebene trägt dazu bei, Zykluszeiten zu reduzieren und konsistente, wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Seine visuelle Fehlerklassifizierung (VDC) ermöglicht es Benutzern, komplexe, intermittierend auftretende und schwer zu erkennende Fehler genau und schnell zu identifizieren. Das Modell ist einfach zu warten und für die Produktionsumgebung anpassen. Seine intuitive Benutzeroberfläche umfasst leistungsstarke Windows-basierte Software für einfache Einrichtung, Datenverwaltung und Außendienst. Ein Echtzeit-Fehlererkennungsgerät warnt den Betreiber sofort, wenn Hardware- oder Konnektivitätsprobleme auftreten. Um eine optimale Zuverlässigkeit und Genauigkeit zu gewährleisten, ist KLA/TENCOR CANDELA CS-20 mit einer kompletten Palette an optischen Inspektionsmöglichkeiten und Qualitätssicherungsmaßnahmen ausgestattet. Die Low-kV-Inspektion gewährleistet eine präzise Fehlererkennung und Oxidationsisolierung. Seine Wiener Dekonvolution-Bildgebung ermöglicht eine erhöhte Fehlererkennung mit höherem Waferdurchsatz bei gleichzeitiger Aufrechterhaltung hochwertiger Bilder. Eine innovative 180-Grad-Reverse-Angle-Imaging verbessert die Lichtfeld-Bildgebung und verbessert die schwer auffindbare Fehlererkennung. Darüber hinaus unterstützt Candela CS20 eine branchenführende Metrologie-Suite, bestehend aus automatisierten Geräte-, Wellenleiter- und Strukturmessfähigkeiten. Mit seinem langwelligen Inspektionsmodus identifiziert das System automatisch Geräte an den tiefsten Schichten. CANDELA CS-20 ist eine zuverlässige und hochentwickelte Masken- und Wafer-Inspektionseinheit, die zuverlässige und effiziente Mustererkennung und -überlagerung durchführt. Seine hochautomatisierte Maschine bietet überlegene Leistung und bietet eine Vielzahl von Anwendungen.
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