Gebraucht KLA / TENCOR Candela CS20R #9148287 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9148287
Wafergröße: 2"-8"
Surface measurement system, 2"-8"
Stains: 20um Dia, 10Å Thickness
Parameters: Ra, Rq, Wa, Wq
Film thickness uniformity: 5Å <Thermal oxide <1000Å
Repeatability: CV ≤ 5.0%
Illumination sources:
50 mW Laser
405 nm Wavelength
Operator interface:
Trackball
Keyboard
Power: 220 V, 60 Hz, 1 kW
Air pressure: 95~110 PSI
Air flow rate : 2 CFM 1/4" OD, 3/16” ID
Includes: Polyurethane tube.
KLA/TENCOR Candela CS20R ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die entwickelt wurde, um sowohl einschichtige als auch mehrschichtige Photomasken und Wafer zuverlässig zu finden. Die einzigartige 3D-Bildgebungstechnologie des Systems verfügt über eine ultrascharfe Optik und eine Auflösung von bis zu 45µm, die eine hochgenaue Erkennung auch kleinster Defekte ermöglicht. Herzstück des CS20R ist ein patentierter 5-Megapixel-CCD-Inspektionssensor. Dieser Sensor verfügt über eine Doppellichteinheit, die sichtbare und infrarote Beleuchtung kombiniert und einen verbesserten Kontrast und eine bessere Fehlererkennung ermöglicht. Die Maschine verfügt auch über ein großes Sichtfeld, das über 45-mal größer ist als herkömmliche Systeme, so dass eine großflächige Inspektion möglich ist, ohne dass mehrmals gescannt werden muss. Das CS20R verfügt auch über eine benutzerfreundliche Software-Oberfläche, die die Bedienung des Tools einfach und intuitiv macht. Es verfügt über eine umfassende Suite von Mustererkennungs- und Analysetools, mit denen Anwender sowohl ein- als auch mehrschichtige Proben schnell und präzise scannen können. Die CS20R integriert sich auch in mehrere Software-Kernel für bestimmte Aufgaben, wie Fehlerklassifizierung, Validierung und Überprüfung. Neben den technologisch fortschrittlichen Funktionen ist das CS20R auf einer leistungsstarken und zuverlässigen Plattform aufgebaut, die einen außerordentlich zuverlässigen Betrieb und Wartung in stark frequentierten Produktionsumgebungen ermöglicht. Es wurde für den kontinuierlichen Betrieb entwickelt, was praktisch keine Ausfallzeiten bedeutet, und das Asset kann mit einer Reihe von Hardware- und Softwareoptionen aktualisiert werden. Insgesamt ist die KLA CANDELA CS 20R ein unglaublich leistungsfähiges und zuverlässiges Modell für die Masken- und Waferinspektion. Die einzigartige 3D-Bildgebungstechnologie der Geräte ermöglicht mit ihrem Dual-Light-System die Erkennung auch kleinster Mängel. Das Gerät ist auch auf einer robusten Plattform aufgebaut, die einen zuverlässigen Betrieb in stark frequentierten Produktionsumgebungen ermöglicht, und verfügt über eine Reihe von automatisierten Mustererkennungs- und Analysewerkzeugen, die die Bedienung der Maschine einfach und intuitiv gestalten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor