Gebraucht KLA / TENCOR CRS 1010 #9140524 zu verkaufen

KLA/TENCOR CRS 1010 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die zur automatisierten Inspektion von Halbleiterscheiben und -masken entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, eine breite Palette von Defekten an Masken und Wafern wie lithographische Verschiebung, Überbrückung, Linienkantenrauheit, Mikrobridging, Pinholes und natürliche Defekte zu erkennen. Das Gerät verfügt über ein vollwertiges Spektrometer, das einen erweiterten sichtbaren Bereich von 380 bis 750 nm aufweist und in der Lage ist, auch kleinste Fehler zu untersuchen. Zusätzlich zeigt die Maschine auch einen empfindlichen backlight Bildaufbereitung des Werkzeugs, das Defektcharakterisierung an einem hohen Verhältnis des Signals zum Geräusch berücksichtigt. Die KLA CRS 1010 ist auch mit einem integrierten Wafer-Handler für das Be- und Entladen und Handhaben von Wafern ausgestattet, der innerhalb der Vakuumkammer stattfindet. Dies ermöglicht eine genaue Platzierung des Wafers und verhindert, dass Verunreinigungen aufgrund der Reinraumumgebung auftreten. TENCOR CRS 1010 kommt auch mit einer hochauflösenden Optik, die eine Fehlerinspektion über ein großes Sichtfeld, bis zu 8 mm Länge und 16 mm Breite ermöglicht. Dadurch kann auch der kleinste Defekt erkannt werden. Darüber hinaus ist CRS 1010 in der Lage, Masken und Wafer parallel zu inspizieren, was die Inspektionszeit drastisch reduziert. Dieses Modell ist in der Lage, bis zu vier Wafer oder Masken in einem einzigen Lauf zu überprüfen. Darüber hinaus verfügt KLA/TENCOR CRS 1010 über erweiterte Bildverarbeitungsfunktionen, einschließlich automatischer Fehlererkennung, Identifizierung und Klassifizierung. Dadurch kann die Ausrüstung jeden Defekt an einer Maske oder einem Wafer schnell und genau erkennen und klassifizieren. Schließlich ist die KLA CRS 1010 so konzipiert, dass sie über eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche bedient werden kann. Dies macht das System einfach einzurichten, zu bedienen und zu warten und stellt sicher, dass jeder Benutzer seine Funktionen voll nutzen kann. Insgesamt ist TENCOR CRS 1010 eine zuverlässige und leistungsstarke Masken- und Wafer-Inspektionseinheit, die hochgenaue Ergebnisse liefern kann.