Gebraucht KLA / TENCOR CRS 1010 #9382222 zu verkaufen
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ID: 9382222
Weinlese: 1997
Confocal review station
Power supply: 208 V, 50/60 Hz, Single phase, 20 Amps
1997 vintage.
KLA/TENCOR CRS 1010 Masken- und Wafer-Inspektionsgeräte sind eine automatisierte optische Inspektionsplattform, die sich am besten für Halbleiterherstellungsprozesse eignet. Das System basiert auf einer fortschrittlichen konfokalen Bildgebungstechnologie mit einem Laser, die eine schnelle und hochgenaue Abbildung winziger Strukturen auf Masken- und Wafersubstraten ermöglicht. KLA CRS 1010 ist mit einer Zwei-Megapixel-CMOS-Kamera und einem Hochleistungslaser ausgestattet, die beide zur Aufnahme und Inspektion von Bildern bei sehr hohen Vergrößerungen verwendet werden. Der Laser wird kalibriert, um eine optimale Lichtmenge zu erzeugen und dabei auf eine voreingestellte Auflösung zu fokussieren. Der Laser wird vom Gerät individuell verfolgt und überwacht, um sicherzustellen, dass er korrekt läuft und die Sicherheitsstandards nicht überschreitet. TENCOR CRS 1010 ist in der Lage, Fehleruntersuchungen, Schadstoffdetektionen und Partikelanalysen auf einem einzigen Wafer durchzuführen. Die Maschine ist mit Mustererkennungs- und Klassifizierungsalgorithmen ausgestattet, mit denen Fehler schnell und genau erkannt und klassifiziert werden können. Das Tool verfügt zudem über eine integrierte Software, mit der Prüfparameter und Schwellenwerte für eine echte positive/negative Klassifizierung und Datenanalyse während des Masken-/Wafer-Inspektionsprozesses angepasst werden können. CRS 1010 beinhaltet auch eigene Datenspeicher- und Kommunikationslösungen, wodurch es in der Lage ist, als Hub für den gesamten Masken-/Wafer-Inspektionsprozess zu dienen. Es ist in der Lage, sich nahtlos in bestehende Operationen und Infrastrukturen zu integrieren, sowie eine eigene Software-Bibliothek mit Inspektionsalgorithmen und Geräten. KLA/TENCOR CRS 1010 hat eine intuitive Benutzeroberfläche, so dass es einfach zu programmieren und zu nutzen. Es ist auch so konzipiert, dass es an viele verschiedene Betriebsumgebungen anpassbar ist, und verfügt auch über ein umfassendes Messtechnik-Paket. Dies verbessert seine Flexibilität und allgemeine Benutzerfreundlichkeit und ermöglicht eine schnelle Anpassung an mehrere Anwendungen. Schließlich hat die KLA CRS 1010 eine unglaublich niedrige False Call Rate und trägt erheblich zur Verbesserung der Produktionserträge bei. Durch die Beseitigung potenzieller menschlicher Fehler bietet das Asset eine größere Einheitlichkeit bei Operationen und Fehler bis hin zu Angstrom-Ebenen können erkannt und korrigiert werden. Damit ist TENCOR CRS 1010 ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug für Masken- und Waferinspektionsprozesse.
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