Gebraucht KLA / TENCOR CRS 2000 #293615914 zu verkaufen

ID: 293615914
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2001
Defect review inspection system, 6" 2001 vintage.
KLA/TENCOR CRS 2000 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die fortschrittliche bildgebende Technologie und überlegene messtechnische Genauigkeit für eine Reihe von Anwendungen bietet. Es ermöglicht Anwendern, ihre Produktionskapazitäten zu skalieren und die Qualitätskontrolle über ihre gesamte Lieferkette zu verbessern. Im Kern ist die KLA CRS 2000 ein Hochleistungsobjektivsystem, das Bilder von Masken- und Wafersubstraten sammelt. Die Einheit verfügt über zwei High Numerical-Aperture (NA) -Objektive, die eine verbesserte Auflösung, größere Fokustiefe und eine größere Schärfentiefe bieten. Die Linsenmaschine ist bis zu 25x der nativen Auflösung des Detektors fähig, perfekt für hochauflösende Inspektionsanforderungen. Darüber hinaus verfügt TENCOR CRS 2000 über einen Hochgeschwindigkeits-Scan-Modus, mit dem Benutzer Bilder mit bis zu 15 Bildern pro Sekunde schnell aufnehmen können. CRS 2000 verfügt über eine Vielzahl von Detektoren zur Abbildung von Masken- und Wafersubstraten. Dazu gehören rückbeleuchtete CCDs für die Weitfeldbildgebung sowie GaAs- und SiC-Detektoren für die hochauflösende Abbildung von kleineren Defekten. Die hochauflösenden Detektoren sind für hohe Effizienz, geringe Rausch- und schnelle Belichtungszeiten konzipiert und bieten Benutzern erstaunliche Bildqualität und Genauigkeit. KLA/TENCOR CRS 2000 verfügt auch über mehrere leistungsstarke Inspektionsmöglichkeiten. Das Werkzeug hat die Fähigkeit, Fehler bis zu 0,2 Mikrometer Größe zu erkennen, um sicherzustellen, dass die kleinsten Fehler erkannt werden. Es verfügt auch über einen patentierten Oberflächenfunktionsalgorithmus, mit dem Benutzer Funktionen mit einer Größe von bis zu 0,02 Mikrometern schnell und genau erkennen können. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine integrierte Fehlerkarten-Bibliothek und leistungsstarke automatisierte Erkennungsalgorithmen, die eine komplexe Fehlercharakterisierung und -prüfung erleichtern. KLA CRS 2000 verfügt auch über eine hochpräzise Stufe, die Anwendern die Möglichkeit bietet, Wafer- und Maskensubstrate genau auszurichten und zu scannen. Das Modell umfasst sowohl lineare als auch rotatorische Stufen, so dass Benutzer ihre Substrate genau positionieren und orientieren können. So können Anwender effizientere, genauere und präzisere Inspektionen durchführen. Insgesamt ist TENCOR CRS 2000 eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die hervorragende Bildauflösung und überlegene messtechnische Genauigkeit für eine Reihe von industriellen Anwendungen bietet. Es verfügt über leistungsstarke Inspektionsmöglichkeiten, mit der Fähigkeit, auch die kleinsten Fehler zu erkennen. Darüber hinaus verfügt das System über eine hochpräzise Stufe zur präzisen Substratpositionierung und -orientierung. Schließlich ist CRS 2000 eine ideale Wahl für jeden Benutzer, der die fortschrittlichsten Inspektionslösungen benötigt.
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