Gebraucht KLA / TENCOR CRS 2000 #293627297 zu verkaufen

KLA/TENCOR CRS 2000 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage zur Erkennung von kritischen Defekten in fortgeschrittenen Halbleiterherstellungsprozessen. Es nutzt die Stärke der hochauflösenden optischen Messtechnik und Expertendefekterkennungsalgorithmen, um Fehler bis auf den Sub-Mikron-Pegel genau zu erkennen und zu klassifizieren. Dieses robuste, voll ausgestattete System ist in der Lage, sowohl die obere als auch die untere Geometrie auf jedem Wafer und jeder Maske zu erfassen und gleichzeitig eine Reihe von softwaredefinierten Prozessanpassungen anzuwenden, um eine maximale Fehlerabdeckung und Genauigkeit zu gewährleisten. Das Gerät enthält ein erweitertes Wafer-Überwachungssoftware-Paket, mit dem Benutzer Wafer-Level und Schichtintegrität während ihres gesamten Produktionsprozesses überwachen, analysieren und vorhersagen können. Die Maschine wird mit fortschrittlichen bildgebenden Hardwaremodulen geliefert, die Fehler im Sub-Micron-Bereich erkennen und messen können, sodass Benutzer nicht sichtbare Fehler erkennen können, die in der Regel verfehlt werden. Darüber hinaus kann es auch Defekte und Anomalien in mehreren Schichten des gleichen Wafers, sowie alle Fehler, die in umgebenden Gebieten auftreten können zu erkennen. Die KLA CRS 2000 verwendet eine Bibliothek bekannter Defektbereiche mit anpassbaren Parametern, um selbst feinste Defektformen zu erkennen. Darüber hinaus verwendet es leistungsstarke Analysetools, um Bilder zu erfassen, in Echtzeit anzuzeigen und jedes Bild innerhalb des Inspektionsprozesses zu vergleichen und zu kontrastieren. TENCOR CRS 2000 verfügt auch über ein integriertes Laserwerkzeug, das schnell eine Ausrichtung und Maskenregistrierung mehrerer Chips ermöglicht und eine konsistente Fehlererkennung und Wiederholbarkeit gewährleistet. Schließlich bietet CRS 2000 eine Reihe von Automatisierungslösungen, um Prozesse zu optimieren und den Durchsatz und die Rentabilität zu verbessern. Das Asset kann Fehler automatisch erkennen, die manuelle Inspektionszeit verringern und die Beleuchtungs- und Modelleinstellungen für jeden Wafer anpassen, um falsche Fehlerraten zu reduzieren und zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse zu ermöglichen. Zusammenfassend ist KLA/TENCOR CRS 2000 eine leistungsstarke und fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die die hohen Anforderungen moderner Halbleiterherstellungsprozesse erfüllen kann. Es nutzt die Leistung hochauflösender Bildgebungsfunktionen, Algorithmen zur Fehlererkennung von Experten und Automatisierungslösungen, um Anwendern genaue Ergebnisse, Wiederholbarkeit und einen verbesserten Durchsatz zu bieten.