Gebraucht KLA / TENCOR CRS 3000 #9137166 zu verkaufen

KLA/TENCOR CRS 3000 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur Erkennung von Defekten durch Lithographie und Ätzen während der Halbleiterherstellung. Es wird verwendet, um Halbleitermasken und Wafer auf Merkmale wie Rundheit, Kantenprofil und andere geometrische Muster zu überprüfen. Das System verwendet modernste, hochwertige optische Geräte und Technologien sowie fortschrittliche Optik, Beleuchtungsquellen und Bildgebungssoftware. Die Inspektionsoptik kombiniert hochauflösende Luftbilder mit einer Reihe dedizierter Fokusebenen. Dies ermöglicht eine schnelle und genaue Beurteilung von Fehlermerkmalen wie tonalen Details, Abständen und Kontrasten. Das Gerät verfügt auch über eine clevere gelenkige 6-Achsen-Wafer-Ausrichtmaschine, die die Geschwindigkeit und Genauigkeit des Inspektionsprozesses erhöht. Der Scanner des Tools kann Funktionen von Interesse vergrößern, um eine detailliertere Inspektion zu ermöglichen. Darüber hinaus ist ein Hochgeschwindigkeits-Bildprozessor in das Asset integriert, der die Geschwindigkeit und Genauigkeit des Inspektionsprozesses weiter erhöht. KLA CRS 3000 erkennt Defekte mit einer Größe von bis zu 5 Nanometern und einer Empfindlichkeit von bis zu 100%. Das Modell verfügt außerdem über eine Wafer-Map-Overlay, die eine zusätzliche Fehlererkennung ermöglicht. Die Inspektionsüberwachungsfunktionen von TENCOR CRS-3000 umfassen die Kontrolle des Tracking-Pegels und die Grenzwerte für die Messung. In Bezug auf die Automatisierung ist die Ausrüstung hochautomatisiert und kann so konfiguriert werden, dass sie über eine Vielzahl von Wafergrößen hinweg überprüft werden kann. Das System kann auch mit dem dazugehörigen Softwarepaket betrieben werden. Die Benutzeroberfläche ist benutzerfreundlich und intuitiv und ermöglicht eine schnelle und genaue Interpretation der Inspektionsergebnisse. CRS-3000 ist eine hochwirksame Masken- und Wafer-Inspektionseinheit, die mit den neuesten Technologien entwickelt wurde, um höchste Genauigkeit und Geschwindigkeit zu erreichen. Die integrierte Optik und der Bildprozessor machen es zu einem der zuverlässigsten Werkzeuge der Branche, mit dem Halbleiterhersteller Fehler schnell und genau erkennen und beheben können.