Gebraucht KLA / TENCOR DFIMS Handler for SP1 #9262248 zu verkaufen

KLA/TENCOR DFIMS Handler für SP1 ist eine hochmoderne vollautomatische Wafer- und Maskeninspektionsanlage, die eine verbesserte Prozesssteuerung und Geschwindigkeit für die Halbleiterherstellung bietet. Mit einer Multi-Sensor-Plattform, die optische und elektrische Messungen auf bis zu 500 Wafern pro Stunde ermöglicht, können Fabs und OEMs Prozessschritte mit einer beispiellosen Geschwindigkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit herstellen, testen und verifizieren. Der KLA DFIMS Handler für SP1 nutzt eine Kombination fortschrittlicher Bildgebungstechnologien wie Acquisition Multiple-Beam (AMB) Imaging, Digital Image Correlation (DIC) und Bildverständnisalgorithmen, um schnelle und genaue Daten über eine Vielzahl von Parametern einschließlich Oberflächen- und Musterfunktionen zu liefern. Das Gerät verwendet eine einzigartige Prozesssteuerungsmaschine, die Prozessparameter wie Gate-Dicke, Gate-Seitenwandwinkel, Linienbreite, Linienkantenrauhigkeit, Fehlergröße und Fehlerstelle automatisch überprüft. Fortgeschrittene Bildverarbeitungswerkzeuge ermöglichen es dem Werkzeug, detaillierte Nanometer-Pegelmessungen (bis zu 2nm) aller Prozessparameter durchzuführen. Darüber hinaus kann das Asset die globale Einheitlichkeit eines Wafers messen und sogar kleinste Prozessvariationen auf einer niedrigeren Größenebene erkennen. Mit diesen Daten kann das Modell wertvolle Entscheidungen treffen, beispielsweise wenn Korrekturmaßnahmen getroffen werden müssen. Die SP1 hat die Fähigkeit, Inspektionen sowohl an der Vorderseite als auch an der Rückseite oder Kontaktschichten von Geräten durchzuführen. Infolgedessen kann es die Oberflächen sowohl von Standard- als auch von speziellen Geräten wie geteilten Toren mit hohem Seitenverhältnis, Linienenden, Vias und Gräben analysieren. Darüber hinaus nutzt das Gerät spezielle Multiplex-Wafer-Inspektionswerkzeuge, die es dem System ermöglichen, mehrere Parameter aus einem einzigen Scan zu analysieren. Um eine genaue Datenerfassung zu ermöglichen, verfügt TENCOR DFIMS Handler für SP1 über einen ultraschnellen Prozessor mit 128 kb Cache, der 6 bis 7 Millionen Datenpunkte pro Sekunde verarbeiten kann. Zur Verbesserung des Workflows umfasst das Gerät integrierte Positionscodierer und Echtzeit-Datenerfassung und -analyse für eine schnellere und präzisere Fehlererkennung. Die Maschine verfügt über einen Schwimmkopf-Vakuumkopf, der für mehr Flexibilität und Zuverlässigkeit bei der Positionierung von Wafern sorgt. Um eine höhere Qualität der Maskenleistung zu gewährleisten, verwendet das Tool eine fortschrittliche Kanteninspektionstechnologie, die garantiert, dass die Formkantenausrichtung mit kritischer Genauigkeit korrekt ist. Schließlich verfügt das SP1 über ein intuitives benutzerfreundliches Bedienelement, mit dem Benutzer die Parameter des Inspektionsauftrags nach ihren eigenen Anforderungen und Vorlieben anpassen können. Mit seiner hohen Geschwindigkeit, Präzision und seinem breiten Spektrum an Messleistungsfähigkeiten ist DFIMS Handler für SP1 das ideale Werkzeug für Halbleiterhersteller, OEMs und Forschungslabore, die ihre Prozessleistung im Auge behalten müssen.