Gebraucht KLA / TENCOR eDR-5210 #293639990 zu verkaufen

ID: 293639990
Defect review Scanning Electron Microscope (SEM).
KLA/TENCOR eDR-5210 ist eine Hochgeschwindigkeits-, Hochpräzisionsmasken- und Wafer-Inspektionsanlage, die auf die Anforderungen von Halbleiterbauelementeherstellern ausgelegt ist. KLA eDR-5210 kombiniert die besten fortschrittlichen KLA-Bildverarbeitungstechnologien und bietet außergewöhnliche Leistung und Funktionen, die eine präzise Fehlererkennung und genaue Dimensionierung über alle Arten von Geräten hinweg gewährleisten. Das System verwendet eine Variante der TENCOR Photonic Imaging Unit (PIS) -Technologie, um die Größe, Form und Eigenschaften von Defekten zu bestimmen und Fehler bis zu 22 nm zu erkennen. Herzstück der Maschine ist ein Doppelbeleuchter, der simultane Inspektionen von SIMS (Rasterelektronenmikroskopisch und Ionenstrahl) und E-Strahl-Durchgangswafer (TW) ermöglicht. Die hochauflösende Optik ermöglicht eine verbesserte Genauigkeit, feinere Merkmalsdefinitionen und eine überlegene Kantenerkennung. TENCOR EDR 5210 bietet außerdem einen ADD-Algorithmus (Automated Defect Detection) an, der eine schnelle Analyse ermöglicht und sicherstellt, dass schwierige und versteckte Fehler erkannt werden. Darüber hinaus verfügt TENCOR eDR-5210 über eine erweiterte Funktion für Datenaustausch, Analyse und Berichterstattung, die eine schnelle und qualitativ hochwertige Mängelklassifizierung für Betreiber-/Inspektorentscheidungen ermöglicht. Das Tool bietet auch ein automatisiertes Mapping, das hocheffiziente Produktionskontrollen ermöglicht. Die GUI und die umfassende Anwendungsprogrammierschnittstelle (API) ermöglichen eine nahtlose Integration mit dem Hostcomputer und ermöglichen so einen problemlosen Betrieb. Um die Bildqualität sicherzustellen, verfügt KLA/TENCOR EDR 5210 über die Möglichkeit, insgesamt 15 Wafer-Maps mit hochauflösenden Bildern sowie eine Vielzahl weiterer erweiterter Funktionen zu speichern. Diese Merkmale umfassen eine 8-Bit-Digitalausgabefähigkeit, eine automatische Bühnenursprung-Erkennung und eine Anti-Vibrations-Isolationsplatte, um die Bildverschiebung durch Vibrationen zu reduzieren. Schließlich stellen die fortschrittlichen Technologien und Funktionen auf eDR-5210 sicher, dass dieses Asset die höchsten Leistungsstandards erfüllen und eine überlegene Fehlererkennung garantieren kann. Mit seinem umfassenden Sortiment an Bildverarbeitungswerkzeugen und intuitivem Design ist das Modell eine ideale Lösung für die fortschrittlichen Anforderungen von Halbleitergeräteherstellern.
Es liegen noch keine Bewertungen vor