Gebraucht KLA / TENCOR eDR-5210 #293755072 zu verkaufen

KLA/TENCOR eDR-5210 ist eine automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionsanlage zur Erkennung von Defekten auf der Oberfläche von Halbleitermaterialien. Es handelt sich um ein anwendungsspezifisches System, mit dem Fehler auf der Oberfläche eines Wafers schnell gescannt und erkannt werden können und das konsistente, wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse liefert. Das Gerät bietet überlegene Leistung und nutzt eine leistungsstarke Suite von Inspektionsalgorithmen, um eine breite Palette von potenziellen Defekten zu erkennen, einschließlich Reflektivität, Verschiebung, Hohlräume, fehlerhafte Chipkanten und Kratzer. Die Maschine verwendet ein 12 "-Projektionsoptik-Werkzeug, um ultrascharfe Abgrenzung von Merkmalen bis zu 4 Mikrometer und eine Reihe von Kontraststufen abhängig von der Art des zu inspizierenden Materials bereitzustellen. Zu den Lichtquellen gehören eine grüne LED (550 nm) und eine blaue LED (450 nm) für betriebliche Flexibilität. Ziel des Vermögenswertes ist es, Fremdkörper zu identifizieren und mögliche Mängel auf der Oberfläche des Wafers zu bewerten. KLA eDR-5210 zeigt auch ein, Hochleistungsmehrachsenbewegungsmodell mit einer geradlinigen Reisegeschwindigkeit von 20 m/s. Die automatisierte Ausrichtungsoptik minimiert rückgestreutes und Streulicht und ermöglicht es, sich präzise und schnell über die gesamte Oberfläche zu bewegen, um auch die geringsten Fehler zu erkennen. Es kann schnell die gesamte Waferoberfläche von oben nach unten scannen und kann sogar positiv-negative Polaritätsfehler erkennen, eine Funktion, die helfen kann, die Nachbearbeitungszeit zu reduzieren. Das Gerät ist auch in der Lage, eine breite Palette von bildgebenden Techniken zu optimieren, einschließlich hochauflösender Kantenerkennung, Kontrastverbesserung und Fehlererkennung. TENCOR EDR 5210 bietet durch seine ausgeklügelten Bildgebungstechnologien genaue Informationen für eine verbesserte Entscheidungsfindung und Ressourcennutzung. Darüber hinaus reduziert sein vollautomatischer Betrieb die Arbeitskosten im Zusammenhang mit der manuellen Inspektion. Insgesamt ist TENCOR eDR-5210 ein automatisiertes, anwendungsspezifisches System, das den Herstellern in der Halbleiterindustrie durch höhere Durchsätze, umfassende Fehlerabdeckung und konstant zuverlässige Ergebnisse erhebliche Vorteile bietet. Die leistungsstarke Suite an Inspektionsalgorithmen und das Spektrum an bildgebenden Techniken sorgen für höchste Genauigkeit und Leistung.