Gebraucht KLA / TENCOR eDR-5210 #293755074 zu verkaufen

KLA/TENCOR eDR-5210 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die für die hochpräzise Analyse von Photomasken, Messfunktionen so klein wie 0,08 Mikrometer, entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, Retikel und Wafer gleichzeitig zu inspizieren, und es verwendet fortschrittliche optische Techniken wie Streuung und optische Mikroskopie, um Partikel zu erkennen und zu identifizieren - auch solche, die weniger als ein Mikron groß sind. Die glasfaserbasierte Einheit ist in der Lage, auch bei kleinen Vergrößerungen extrem detaillierte Bilder von Masken zu erzeugen. Darüber hinaus kann es hochauflösende Streuungsmessungen kritischer Muster wie Gräben, Vias und Abstände erzeugen. Die Maschine ist auch in der Lage, Fehlerinspektionen an bearbeiteten Wafern durchzuführen, wodurch der Benutzer sowohl Oberflächen- als auch Tiefenfehler identifizieren und quantifizieren kann. KLA- eDR-5210 ist auch in der Lage, verschiedene Arten von Materialien zu analysieren, von Quarz bis Silizium, und kann präzise 4x Retikle-Defekt-Erkennung für große und feinteilige Masken durchführen. Das Tool enthält fortschrittliche Software, die große Datensätze schnell und effizient überprüfen und messen sowie die automatische Fehleranalyse erleichtern kann. Das Asset verfügt über mehrere wichtige Funktionen, darunter einen Hochgeschwindigkeits-Scan-Spiegel, Präzisionsprozesssteuerung, ein optisches Spektrographenmodell und eine zuverlässige 10kHz Laserausrüstung. Zusammen ermöglichen diese Komponenten der Maschine, genaue Bilder zu erzeugen, Fehler mit einer höheren Auflösung als herkömmliche Methoden zu messen und mögliche Fehler schnell zu erkennen und zu diagnostizieren. Insgesamt ist TENCOR EDR 5210 ein leistungsstarkes, leistungsstarkes Masken- und Wafer-Inspektionssystem, das sich gut für eine Vielzahl von Halbleiterproduktionsanwendungen eignet. Durch die Kombination fortschrittlicher optischer Techniken mit robuster Software kann die Maschine die kleinsten Fehler genau erkennen und berichten, was sie zu einem unverzichtbaren Werkzeug für eine effiziente und fehlerfreie Fertigung macht.