Gebraucht KLA / TENCOR eDR-5210 #9075254 zu verkaufen

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ID: 9075254
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
SEM-EDX System, 12" With BLIZ pedestal E-Beam review station Laser 2010 vintage.
KLA/TENCOR eDR-5210 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage, die sich ideal für die Serienproduktion fortschrittlicher Halbleiterbauelemente eignet. KLA eDR-5210 ist darauf ausgelegt, schnelle, genaue Fehlerinspektionen in höchst zuverlässiger und effizienter Weise zu liefern. Mit einer neuen, innovativen OWS-Technik (Optical Wafer Scanning) inspiziert das System sowohl die obere als auch die untere Oberfläche jedes Geräts und bietet so verbesserte Erträge und Prozesskontrolle für Forscher und Fertigungspersonal. TENCOR EDR 5210 ist in der Lage, viele Arten von Defekten zu erkennen, einschließlich fehlender Merkmale, kurzer Hosen und Partikelverunreinigungen. Das Gerät ist mit hochwertiger Optik und Beleuchtung, Präzisionsabtastmechanismen und digitaler Verarbeitungshardware ausgestattet. Es kann zwischen gültigen und ungültigen Fehlern unterscheiden, während seine erstklassigen Fehlerüberprüfungsanzeigen es Wissenschaftlern und Ingenieuren ermöglichen, Minutenmerkmale mit außergewöhnlicher Genauigkeit zu identifizieren. KLA/TENCOR EDR 5210 verfügt auch über eine Präzisionsdrehfunktion, die es erlaubt, Winkel genau zu messen und Neigungsfehler auszugleichen. Diese kritische Genauigkeit ist erforderlich, wenn komplexere Strukturen, wie z.B. Maskenschichtfehlstellungen und kritische Lithographievariationen, überprüft werden. Auch der robuste EDR 5210 ist hochgradig anpassbar. Es kann mit einer Vielzahl von Hardwarekomponenten sowie Hardware- und Software-Upgrades konfiguriert werden, um individuelle Leistungsanforderungen zu erfüllen. KLA EDR 5210 umfasst auch automatisierte Betriebsmodi wie Endpunktanalyse, Scan-Mittelung und Wiederholungsscans, die die Durchsatzraten optimieren und die Ausbeute erhöhen. Darüber hinaus ermöglichen erweiterte Fehleranalysefunktionen es Kunden, die Leistung jedes Geräts zu profilieren und Geräteverschlechterungsquellen zu identifizieren. EDR-5210 Maschine ist so konzipiert, dass sie eine kostengünstige Lösung für die Inspektion der komplexesten Halbleiterbauelemente bietet. Mit seiner präzisen optischen Technologie, schnellen Abtastraten und dem hochgradig anpassbaren Design ist TENCOR eDR-5210 eine hervorragende Lösung für jeden Halbleiterhersteller, der Qualität und Zuverlässigkeit seiner Produkte gewährleisten möchte.
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