Gebraucht KLA / TENCOR eDR-5210 #9397337 zu verkaufen

KLA/TENCOR eDR-5210 ist eine hochmoderne Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die Halbleiterindustrie. Dieses System verbindet sowohl optische Inspektion als auch Elektronbalken (E-Balken) Schaufähigkeiten, hochgenaue und zuverlässige Defektentdeckung für verschiedene gemusterte und nichtgemusterte Schichten ermöglichend. Die KLA- eDR-5210 eignet sich ideal für die Inspektion und Überprüfung von gemusterten und nicht gemusterten Masken. Die automatisierte Masken- und Wafer-Inspektionseinheit verfügt über eine integrierte, hochpräzise CCD-Kamera und MAP-Software, mit der sie subtile Fehler auf der Waferoberfläche schnell erkennen und feine Muster auf den Maskenbildern erfassen kann. Die Maschine hat ein Sichtfeld von bis zu 6 Zoll x 6 Zoll und die maximale Auflösung, die sie erreichen kann, beträgt 16 μ m. TENCOR EDR 5210 verfügt über eine hochmoderne Bildgebungstechnologie, die es ermöglicht, eine Vielzahl von Defekten zu erkennen und zu analysieren, einschließlich Linienbreitenschrumpfung, Linienbreitenüberholung, Linienkantenrauhigkeit, Vorsprünge, Gruben, Gruben, Brückenshorts, offene Schaltungen und kurze Hosen. Das Werkzeug hat eine Fehlerempfindlichkeit von 0,4 μ m, was es ermöglicht, Fehler auch in den anspruchsvollsten Nanometer-Gerätekonstruktionen aufzunehmen. Darüber hinaus ist der Vermögenswert in der Lage, auf verschiedenen Expositionsniveaus zu analysieren, einschließlich Dunkelfeld, Hellfeld, Schräglage und Lichtdurchlässigkeit. Das Modell integriert auch anspruchsvolle Mustererkennungsfunktionen wie programmierbare visuelle Mustererkennung, merkmalsbasierte Fehlererkennung und automatisierte Segmentierung. Das Gerät verfügt auch über erweiterte Verarbeitungsfunktionen wie Fehlerlokalisierung, Musterformanalyse und 3D-Messungen. All dies ermöglicht es dem System, Fehler schnell und genau zu erkennen und zu identifizieren. KLA/TENCOR EDR 5210 ist für einen hohen Datendurchsatz geeignet und eignet sich hervorragend für Anwendungen mit automatisierter Fehlerüberprüfung (DPReview). Es hat eine schnelle Durchsatzgeschwindigkeit von bis zu 200 Drucken/Stunde, was es ideal für die Inspektion von Produktionslinien macht. Das Gerät ist auch in der Lage, erkannte Fehler für einfache Überprüfung und Klassifizierung zu markieren. TENCOR eDR-5210 ist zuverlässig, einfach zu bedienen und bietet ein gutes Preis-Leistungs-Verhältnis. Es erfordert eine minimale Wartung, ist extrem benutzerfreundlich und sehr konfigurierbar, um spezifische Kundenanforderungen zu erfüllen. Dadurch ist die Maschine eine gute Wahl für Halbleiterhersteller, die für ihre Produktion zuverlässige Fehlererkennungssysteme benötigen.