Gebraucht KLA / TENCOR eDR-5210S #9269303 zu verkaufen
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KLA/TENCOR eDR-5210S ist eine vollautomatische Masken- und Waferinspektionsanlage, die für messtechnische Anwendungen mit hohem Durchsatz entwickelt wurde. KLA eDR-5210S bietet überlegene optische Leistung und automatisierte Fehlererkennung zur Inspektion von Masken und Wafern. Das System kann Muster bis zu einer Größe von 3,5 Nanometern mit Bildauflösungen bis zu 20 Megapixel überprüfen. Das Gerät verfügt über eine automatisierte mehrstufige Linsenmaschine, die ein großes Sichtfeld und eine sehr hohe numerische Apertur bietet. Dies ermöglicht eine hohe Genauigkeit und Auflösung bei der Inspektion von Masken und Wafern auf Defekte. TENCOR eDR-5210S verwendet eine 600W hochintensive LED-Lichtquelle mit einer einstellbaren Lichtwellenlänge von 250nm bis 1750nm zur Erkennung von Defekten. Das Tool verwendet mehrere gleichzeitige Belichtungen und erweiterte Bildverarbeitungsalgorithmen, um Fehler auch bei sehr niedrigen Lichtpegeln zu erkennen. Der automatisierte Inspektionsprozess umfasst Masken- und Wafer-Positionierung, optische Messung, Bildverarbeitung und Datenanalyse, wodurch der Gesamtzeitbedarf für die Inspektion reduziert wird. EDR-5210S ist darauf ausgelegt, schnelle und zuverlässige Inspektionen auch bei niedrigen Signal- bis Geräuschpegeln durchzuführen. Bildverarbeitungsalgorithmen wie Mustererkennung und Q-Faktor-Inspektion, kombiniert mit den leistungsstarken Beleuchtungsfunktionen, ermöglichen es dem Asset, Submikron-Defekte und andere Unvollkommenheiten an Masken und Wafern schnell zu erkennen. Das Modell verfügt auch über eine benutzerfreundliche GUI mit einer intuitiven Oberfläche für einfache Einrichtung und Bedienung. KLA/TENCOR eDR-5210S ist eine vielseitige Inspektionsausrüstung, die zur Bereitstellung von Messtechnik mit hohem Durchsatz entwickelt wurde, um fehlerfreie Masken und Wafer sicherzustellen. Das System kann Fehler bis zu 3,5 Nanometer mit sehr hoher Auflösung und Genauigkeit erkennen. Der automatisierte Inspektionsprozess in Verbindung mit fortschrittlichen Bildverarbeitungsalgorithmen und leistungsstarken Beleuchtungsfunktionen ermöglicht eine schnelle und zuverlässige Fehlererkennung. Die benutzerfreundliche GUI-Schnittstelle macht die Einrichtung und Bedienung der Einheit einfach und unkompliziert.
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