Gebraucht KLA / TENCOR EFEM #9276613 zu verkaufen

KLA/TENCOR EFEM ist eine Maske und Wafer Inspektion Ausrüstung entwickelt, um die Genauigkeit und Effizienz der Qualitätsbewertung zu verbessern. Insbesondere vereinfacht das System den Prozess der Überprüfung der Integrität und Gleichmäßigkeit von Halbleiterscheiben und -masken, indem benutzerdefinierte Algorithmen verwendet werden, die Waferdefekte in Echtzeit erkennen. Das Gerät nutzt sowohl automatisierte als auch manuelle Inspektionsmöglichkeiten, einschließlich Flächenertragsanalyse, Präzisionszählung, Planarität und Einheitlichkeitsprüfungen, so dass Benutzer Fehler schnell erkennen und beheben können. KLA EFEM bietet auch erweiterte Fehlerklassifizierungsfunktionen. Mit dieser Funktion kann die Maschine gleichzeitig mehrere Masken auf einem Wafer prüfen und bis zu 25 verschiedene Fehlertypklassen klassifizieren. TENCOR EFEM bietet auch leistungsstarke messtechnische Fähigkeiten. Mit einem hochauflösenden Bildgebungstool ist das Gerät in der Lage, Linienbreiten und CD-Unterschiede mit einer Genauigkeit von 5 nm zu messen und kleine Partikel von 2,5um und darunter zu erkennen. Es verfügt auch über Multi-Sampling-Algorithmen, um die Rauheit der Fehlerlinien und die Größe der Brücke/Insel zu überprüfen. EFEM ist in der Lage, eine Vielzahl von Formaten zu inspizieren, darunter mehrschichtige Masken und Substrate, verschiedene Arten von Retikeln und verschiedene Verpackungsanforderungen. Mit seinem hochauflösenden Abbildungsmodell kann das Gerät Geometriefehler wie Näh- und Lithographie-Vorspannungen sowie Fehler in Abscheidungsmustern und Materialien erkennen. Darüber hinaus kann das System optische Inspektionen, wie Beugungsprüfungen, für Auflösungsprüfungen durchführen. Darüber hinaus verfügt KLA/TENCOR EFEM über eine offene Plattform und ist mit Windows, Linux und Mac OS Betriebssystemen kompatibel. Insgesamt ist KLA EFEM ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug für die Masken- und Waferinspektion, das robuste automatisierte und manuelle Inspektionsmöglichkeiten mit fortschrittlichen messtechnischen Funktionen bietet, um Genauigkeit und Effizienz zu gewährleisten.