Gebraucht KLA / TENCOR EFEM #9278728 zu verkaufen

KLA/TENCOR EFEM ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die zur Erkennung von Defekten auf kritischen Schichten der Maske und des Wafers entwickelt wurde. Das System basiert auf der Electron-Beam Freeform Inspection Method oder KLA EFEM. TENCOR EFEM ist ein innovativer Ansatz zur Wafer- und Maskeninspektion, der während des Inspektionsprozesses keine optische Projektion erfordert. Stattdessen verwendet es einen fokussierten Elektronenstrahl, um die Maske und den Wafer zu inspizieren. Dieser Elektronenstrahl hat eine breite Palette von Möglichkeiten, verschiedene Arten von Defekten zu unterscheiden. EFEM-Einheit besteht aus mehreren Komponenten. Die Maschine umfasst die Elektronenstrahlquelle, die Optik, das Signalerfassungs- und Analysewerkzeug und das Asset Control Board. Die Elektronenstrahlquelle dient zur Erzeugung eines Strahls aus energiereichen Elektronen mit fokussiertem Strahlprofil. Dieser Strahl wird dann auf einen bestimmten Punkt auf der Maske oder dem Wafer gerichtet, wodurch der fokussierte Elektronenstrahl die spezifischen Merkmale auf der Maske oder dem Wafer untersuchen kann. Die Optik besteht aus einer Gruppe von Linsen, die den Strahl auf die Maske oder den Wafer fokussieren und eine präzise Abbildung der Merkmale ermöglichen. Das Signalerfassungs- und Analysemodell ist für die Interpretation der durch den Elektronenstrahl erzeugten Bilder verantwortlich, so dass es das Vorhandensein von Masken- oder Waferdefekten detektieren kann. Das Kontrollbrett ist das Gehirn der Ausrüstung. Es ermöglicht eine präzise Ausrichtung des Elektronenstrahls auf die spezifischen Merkmale der Maske oder des Wafers durch Steuerung der Elektronenstrahlablenkung, der Strahlrate und anderer Parametereinstellungen. Das Control Board stellt auch die Schnittstelle zwischen dem System und seinem Bediener zur Verfügung. KLA/TENCOR EFEM Einheit hat sich als sehr zuverlässig in Maske und Wafer Inspektion. Es ermöglicht eine berührungslose und zerstörungsfreie Hochauflösungsfähigkeit. Darüber hinaus bietet es hervorragende Fehlererkennungsfähigkeiten mit seiner Fähigkeit, verschiedene Arten von Fehlern zu unterscheiden. KLA-Maschine ist eine beliebte Wahl für viele Halbleiterherstellungsanlagen geworden, liefert zuverlässige Inspektionsergebnisse und verbessert die Qualitätskontrolle.