Gebraucht KLA / TENCOR es20xp #188080 zu verkaufen
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ID: 188080
E-beam inspection system's PCB and racks with robot
Includes:
710-608020-01 REV: AF
740-607105-00 REV AD
740-607105-003
740-607107-003
740-607108-003
740-614411-000
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740-614415-000
740-614416-000
740-614417-000
740-614419-000
740-614421-000
740-612858-001 REV AA
750-613674-000
750-613674-000
Brooks Automation
Model # 002-0921-20
2001 vintage.
KLA/TENCOR es20xp ist eine hochmoderne Masken- und Waferinspektionsanlage. Es ist ein modularisiertes System, das für eine Vielzahl von Betriebsarten konfiguriert werden kann, um mehrere Arten von Masken und Wafern zu überprüfen. Es verwertet fortgeschrittene Algorithmen und Hardware für Hochleistungsmetrologieinspektionen, um Durchfluss zu vergrößern und hoch zuverlässige und genaue Ergebnisse zu bieten. Die Einheit besteht aus einem Scannerkopfmodul, einer Optik, einer Messmaschine und einem Software-Steuerwerkzeug. Das Scannerkopfmodul ist mit einer Ablenkpupille oder telezentrischen Optik ausgestattet, die ein winkelförmiges und planares Abbildungsfeld ermöglicht. Die Optik und Messanlage ist automatisiert und nutzt serielle Messungen. Es enthält einen Bildverstärker und einen photometrischen Detektor zur Inspektion schwacher Signale für Masken und Wafer. Die Inspektionsfelder werden durch ein stroboskopisches Beleuchtungsmodell und Farbfilter ergänzt, um Bildwäschen zu vermeiden. Die Software-Steuerung unterstützt mehrere Funktionen wie Inspektor-Codierung, Multi-Image-Sampling und schnelle Bildverarbeitung. Es hat ein asynchrones Design, so dass einzelne Bilder parallel verarbeitet werden können. Die fortschrittlichen Algorithmen bieten Echtzeit-Feedback und Fehlererkennung, was eine schnelle Klassifizierung und verbesserte Genauigkeit ermöglicht. Der erweiterte Dynamikbereich im System ermöglicht es, subtile Fehler in Wafern und Masken zu erkennen. Der parallele Signal- und Bildprozessor hilft bei der Durchführung von Inspektionen, hohe Geschwindigkeiten zu erreichen. Das Gerät hält Präzision und Wiederholbarkeit beim Scannen in sehr kleinen Größen, so dass die Inspektion von Designs von 0,5 Mikrometer bis 25 Mikrometer in der Größe. KLA ES20 XP ist mit einem Ereignisaufzeichnungsmodul ausgestattet, das Bildrahmen zur Berichterstattung aufnehmen und aufzeichnen kann. Die benutzerfreundliche Software verfügt über mehrsprachige Unterstützung und verwendet Anwendungen, die optimiert sind, um die Maschine für verschiedene Prozesse oder Anwendungen maßgeschneidert zu sein. TENCOR ES 20 XP ist für sehr zuverlässige und genaue Ergebnisse konzipiert und kann an die spezifischen Anforderungen und Anwendungen angepasst werden. Es ist in der Lage, Fehler, die sich aus Belichtungsproblemen, lithographischen Verarbeitungsparametern, Overlay-Fehlern und mehr ergeben, zu erkennen und zu klassifizieren.
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