Gebraucht KLA / TENCOR es20xp #293592548 zu verkaufen
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ID: 293592548
E-Beam inspection system, parts machine
Chamber
Robot
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KLA/TENCOR es20xp ist eine Hochleistungs-Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung, die speziell entwickelt wurde, um die strengen Anforderungen an die Masken- und Wafer-Fehlererkennung der heutigen optischen Lithographie-Industrie zu erfüllen. KLA ES20 XP bietet eine hocheffiziente, kostengünstige und genaue Fehlerüberprüfung, beschleunigt jedoch den Herstellungsprozess von Wafern und verkürzt die Markteinführungszeit. TENCOR ES 20 XP verwendet ein einzigartiges Dreiachs-Scanning-System, um mikroskopische Defekte, die Defekte im Gerät oder Ausbeute verursachen können, genau zu erkennen und zu analysieren. TENCOR es20xp verwendet eine patentierte GENII Imaging Unit, um sowohl eine Hellfeld- als auch eine Dunkelfeldbildgebung der Maske oder des Wafers durchzuführen. Diese bildgebende Maschine ermöglicht eine höhere Auflösung und erhöhte Empfindlichkeit für die Fehlererkennung. ES20 XP bietet auch eine Reihe von erweiterten Funktionen, einschließlich variabler Schlitzgröße, variablem Sichtfeld, variablem Fokus und variablem Kontrast für die vollständigste Masken- und Wafer-Fehlerinspektion. Die KLA es20xp verwendet ein patentiertes automatisiertes Fehlerklassifizierungswerkzeug, um Fehler zu identifizieren und zu klassifizieren. Defekte werden nach Größe, Form, Lage, Ausrichtung und Zusammensetzung kategorisiert. Darüber hinaus kann es20xp auch Prozessüberbrückungen, Leitungsbrücken und offene Defekte erkennen, um die umfassendste Sicht auf Defekte im Gerät oder Wafer zu ermöglichen. ES 20 XP unterscheidet sich durch seinen hohen Durchsatz von anderen Systemen mit Abtastraten von bis zu 200 Abtastzeilen pro Sekunde. Darüber hinaus ist KLA/TENCOR ES20 XP äußerst zuverlässig und präzise, mit wiederholbarer Messgenauigkeit von bis zu 1,5 Mikrometern bei der Messung kritischer Fehlergrößen an Masken oder Wafern. Neben den beeindruckenden Inspektionsmöglichkeiten bietet KLA/TENCOR ES 20 XP eine benutzerfreundliche und einfach zu bedienende Human Machine Interface (HMI), die eine vollständige Kontrolle über den Betrieb von TENCOR ES20 XP bietet. Das benutzerfreundliche HMI ermöglicht es Benutzern, das Asset schnell und einfach einzurichten, Daten zu überprüfen und Ergebnisse zu melden. Die integrierten statistischen Analyse- und Berichtsfunktionen ermöglichen eine einfache Überprüfung und Analyse der Daten. KLA ES 20 XP bietet fortschrittliche Produktivitätslösungen für die Masken- und Waferinspektion und Fehlerüberprüfung. Die hohe Qualität und Genauigkeit in Verbindung mit der Zuverlässigkeit des Inspektionsmodells führt zu verbesserten Erträgen und reduzierten Prozessausfallzeiten, was zu einer schnelleren Markteinführung für Gerätehersteller führt.
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