Gebraucht KLA / TENCOR eS31 #293610174 zu verkaufen
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ID: 293610174
Weinlese: 2005
E-Beam inspection system
Loader unit
Console unit
Noise cut AVR
(2) Dry pumps
2005 vintage.
KLA/TENCOR eS31 ist eine fortschrittliche Masken- und Wafer-Inspektionsausrüstung für maximale Effizienz und Präzision. Das System verwendet eine fortschrittliche hochauflösende Optikeinheit, eine fortschrittliche Laserbeugungstechnologie und Advanced Motion ControlTM, um Bilder von hoher Qualität bei Auflösungen von bis zu 10 Mikrometern bereitzustellen. KLA- eS31 besteht aus mehreren Teilsystemen und Komponenten, die zusammenarbeiten, um maximale Genauigkeit und Produktivität zu bieten. Die Maschine umfasst eine Tomographieeinheit, eine Wafer-Inspektionsstufe, Mikroskopobjektive, ein Laserbeugungswerkzeug, eine Schiebestufe und eine automatisierte Wafer-Positionieranlage sowie einen hochpräzisen Monitor. Die Tomographie-Einheit verfügt über eine hochentwickelte Struktur, um Vibrationen zu reduzieren und die Stabilität der Bildgebung zu verbessern. Die Tomographieeinheit verwendet einen fortschrittlichen Laserbeleuchter, eine 13-Zoll-Flüssigkristallanzeige und ein Fokussteuerungsmodell, um klare und genaue Bilder bis zu 10 Mikrometer in einem linearen oder kreisförmigen Muster bereitzustellen. Die Wafer-Inspektionsstufe ist ein fortschrittlicher zweiarmiger Kamerahalter mit Präzisionsmanipulatoren und einer Schiebestufenausrüstung. Es wurde entwickelt, um maximale Genauigkeit bei der Positionierung des Wafers bei minimaler Drift und Beanspruchung zu gewährleisten, während die Mikroskopobjektive auch bei ultrahoher Inspektionsauflösung eine möglichst hohe Vergrößerung bieten. Das Laserbeugungssystem bietet maximale Genauigkeit bei der Inspektion von Spezialstrukturen wie der Rauheit der Linienkante und ist in der Lage, bei einer Linienbreite von 0,1 µm auf 40 µm zu kalibrieren. Der Einbau eines mehrachsigen Roboterarms erhöht die Genauigkeit und Präzision des Geräts weiter, beschleunigt die Produktion und führt zu zuverlässigeren Inspektionserträgen. TENCOR eS31 ist auch mit einem hochauflösenden Monitor ausgestattet, der eine genaue Betrachtung von Bildern bis zu 10 Mikrometern ermöglicht. Es verfügt über ein großes, farbcodiertes Display, mit dem Bediener ihre Einstellungen präzise anpassen und ihre Ergebnisse schnell analysieren können. ES31 ist die ideale Maschine zur Masken- und Waferinspektion. Das umfassende Feature-Set bietet höchste Genauigkeit und Geschwindigkeit der Inspektion und stellt sicher, dass Qualitätsteile schnell, zuverlässig und konsistent geliefert werden.
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