Gebraucht KLA / TENCOR eS32 #293665956 zu verkaufen

KLA/TENCOR eS32 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die in der Lage ist, Fehlererkennung und Diagnose an einer Vielzahl von Anwendungstypen durchzuführen. Es kombiniert fortschrittliche optische Lithographie und bildgebende Technologien, um selbst die subtilsten Prozessdefekte zu identifizieren, wie sie durch ein gefangenes Partikel oder Kontamination verursacht werden. Es hat eine Auflösung von 0,5 µm und kann Substrate bis 200 mm Durchmesser verarbeiten. Es wird auch von einer Suite von Fehlerinspektionssoftware unterstützt, um die Effizienz zu maximieren und fehlende Fehler zu minimieren. KLA- eS32 ist in der Lage, bei einer Vielzahl von Expositionen zu inspizieren, so dass es Fehler über eine breite Palette von Anwendungen zu erkennen, von fortschrittlicher Lithographie über Photolithographie, direkte Sauerstoffplasma-Asche, Nassätzung und mehr. Es verfügt über ein Dual-Teleskop-System, das es ermöglicht, sowohl das Reticule als auch den Wafer in einer einzigen Exposition effizient zu inspizieren. Es ist mit einer 9-stufigen, hochauflösenden Farbabbildungseinheit und einer geschlossenen Waferbewegung für genaue Fehlerabtastung und genaue Bildgebung ausgestattet. Die Maschine wird von KLA DataLink angetrieben, einer einzigen Softwareplattform, die eine einheitliche Erfahrung für den Benutzer bietet, indem sie Inspektions- und Diagnosefunktionen innerhalb derselben Grenze konsolidiert. Der DataLink wurde entwickelt, um die Produktivität zu steigern, indem ein berührungsloser Workflow mit automatisierter Auftragseinrichtung bereitgestellt wird. Darüber hinaus ist seine Hardware-agnostische Architektur für die nahtlose Hoststeuerung und den Datenaustausch optimiert. TENCOR ES 32 ist auch mit messtechnischen Möglichkeiten ausgestattet, mit einer Vielzahl von Messungen, die durch die integrierte messtechnische Hardware ermöglicht werden. Dies beinhaltet die automatische Anpassung von CD-SEM und OVL für verbesserte Datengenauigkeit. Es wird auch vorkalibriert, um die Basislinienkalibrierungszeiten zu minimieren. Darüber hinaus verfügt ES 32 über eine Vielzahl von Produktivitätsfunktionen, einschließlich einer intuitiven Benutzeroberfläche für Benutzerfreundlichkeit, Echtzeit-Zeitstempel für schnelle Berichterstattung, mehrseitige Fehlertransaktionen für schnelle Überprüfung und On-Board-Anpassung für maßgeschneiderte Erfahrung. Darüber hinaus können Benutzer aus einer Reihe von optionalen Zubehör wählen, um das Dienstprogramm eS32 für jede Anwendung anzupassen. Insgesamt ist TENCOR eS32 ein leistungsfähiges und vielseitiges Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug, das in der Lage ist, eine hochauflösende Fehlererkennung und -diagnose in einer Vielzahl von Anwendungen durchzuführen. Es ist mit automatisiertem Job-Setup und einer Vielzahl von Funktionen für mehr Effizienz und Produktivität ausgestattet. Mit seinen fortschrittlichen Technologien und umfangreichen messtechnischen Fähigkeiten kann KLA ES 32 dazu beitragen, verfehlte Mängel zu reduzieren und eine optimale Leistung zu gewährleisten.