Gebraucht KLA / TENCOR eS32 #9282549 zu verkaufen
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KLA/TENCOR eS32 ist eine Masken- und Waferinspektionsanlage, die für die Messtechnik mit tiefer Submikronauflösung entwickelt wurde, um eine genaue Mustercharakterisierung zu ermöglichen. Mit seiner einzigartigen Kombination aus fortschrittlichen Analysealgorithmen und Footprint-basierter Optik ist KLA eS32 in der Lage, Artefakte bis auf kleinste Ebenen zu erfassen. TENCOR ES 32 bietet ein 3D-Bildgebungssystem mit mehreren Bildgebungsoptionen. Es ist mit zwei Kameras, der vierkanaligen TENCOR eS32 Kamera und der fünfkanaligen eS32-T Kamera ausgestattet. Die KLA ES 32-Kamera erfasst Bilder mit einer maximalen Pixelauflösung von 1024 x 1024, während ES 32-T eine maximale Pixelauflösung von 2048 x 2048 aufweist. Diese Einheit kann für eine Vielzahl von Musteranwendungen wie Maskeninspektion, Waferinspektion und Overlay-Inspektion verwendet werden. KLA/TENCOR ES 32 nutzt eine fortschrittliche bildgebende Technologie, die eine tiefe Auflösung von Submikromustern ermöglicht und Partikel bis zu 0,5 μ m detektieren kann. Diese intensive Musteranalyse wird von der proprietären Software KLA/TENCOR eS32 angetrieben, die fortschrittliche Algorithmen verwendet, um hochauflösende Analysen bereitzustellen. Darüber hinaus verfügt KLA eS32 über eine integrierte Overlay-Maschine, die Überlagerungsmessungen für Retikel, Masken und Wafer mit außergewöhnlicher Genauigkeit bereitstellen kann. TENCOR ES 32 kommt mit einem eingebauten Oberflächenprüfgerät, TENCOR eS32-SE. ES32-SE ist ein vollständig integriertes objektivbasiertes Asset, das eine Vielzahl von Beleuchtungsquellen umfasst, einschließlich Dunkelfeld und Hellfeldbildgebung. Dieses Modell kann verwendet werden, um fehlerhafte Partikel, Kratzer, Staub und andere Verunreinigungen auf der Oberfläche von Wafern und Masken zu erkennen. KLA ES 32 verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche und eine robuste Softwareplattform. So können Anwender die Geräte schnell und einfach an ihre individuellen Anwendungsanforderungen anpassen. Darüber hinaus ist das System in der Lage, sich ohne manuellen Eingriff automatisch auf verschiedene Wafergrößen einzustellen. ES 32 ist ein ideales Werkzeug für die ultrafeinen Musteranwendungen moderner Technologien. KLA/TENCOR ES 32 ist mit seinen überlegenen Bildgebungsfunktionen, der automatisierten Ausrichteinheit und der benutzerfreundlichen Schnittstelle eine effiziente Masken- und Waferinspektionslösung für die Charakterisierung von tiefen submikroskopischen Merkmalen.
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