Gebraucht KLA / TENCOR eS32 #9398361 zu verkaufen

ID: 9398361
E-Beam inspection systems 2005-2006 vintage.
KLA/TENCOR eS32 ist ein automatisiertes optisches Inspektionsgerät zur Inspektion von Halbleitermasken und Wafern. Es ist in der Lage, 10-Mikron-Bildauflösung, so dass es eine Vielzahl von Defekten zu erkennen, einschließlich kritische Abmessungen (CD), Linienbreite Variationen, Fehlstellungen, Kratzer, Pinholes, Partikel, Flecken und andere Prozess-induzierte Defekte. KLA eS32 unterstützt sowohl Hellfeld- als auch Dunkelfeldbildgebung, sodass der Benutzer kleinste Fehler sowohl auf transparenten als auch auf undurchsichtigen Oberflächen erkennen kann. Die fortschrittliche, hochauflösende Kamera von TENCOR ES 32 ist mit einem 5-Megapixel-Sensor und einem 16-mm-Objektiv ausgestattet, um eine maximale Genauigkeit bei der Erkennung von Minutenmerkmalen auf einer Vielzahl von Substraten zu ermöglichen. Die Kamera ist in der Lage, Bilder mit einer Geschwindigkeit von bis zu 100 Bildern pro Sekunde zu erfassen und belichtet den Wafer mit einem ultrakurzen Pulslaser für eine deutlich reduzierte Unschärfe. Darüber hinaus bieten die mehrfachen Inspektionsmodi von KLA ES 32, einschließlich Hellfeld, Dunkelfeld und kombiniertem Hellfeld-Dunkelfeld, Benutzern eine umfassende Fehlerabdeckung. Neben seinen leistungsstarken Bildgebungsfunktionen verfügt KLA/TENCOR ES 32 auch über mehrere erweiterte Intelligenzfunktionen. Dazu gehören ein integrierter Bildanalyse-Algorithmus für optimierte Fehlererkennungsgenauigkeit und ein proprietäres Auto Defocus Correction System für automatischen, zuverlässigen Bildfokus. Die Benutzeroberfläche des Geräts ist intuitiv und benutzerfreundlich, mit einem berührungsempfindlichen Monitor, der eine einfache Untersuchung von Bildern und schnelle Datenanalyse ermöglicht. ES32 ist auf einer modularen Plattform aufgebaut, so dass Benutzer die Maschine an ihre spezifischen Halbleiterinspektionsanforderungen anpassen können. Seine hochgenauen, Low-Profile-Vision-Systeme sind in der Lage, sowohl Hochgeschwindigkeitsprüfungen als auch Scan- und Messaufgaben durchzuführen. Darüber hinaus verbessern die fortschrittlichen Algorithmen und engen Toleranzen des Tools die visuelle Erkennung, verringern Ausfallzeiten und bieten eine stabile, zuverlässige Inspektionserfahrung. Insgesamt ist TENCOR eS32 aufgrund seiner fortschrittlichen Bildgebungstechnologien, intelligenten Funktionen und der anpassbaren modularen Plattform eine hervorragende automatisierte optische Inspektion für Halbleitermasken und Wafer. Es wurde entwickelt, um eine schnelle und zuverlässige Fehlererkennung zu ermöglichen, den Ertrag und die Produktqualität zu maximieren.
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