Gebraucht KLA / TENCOR eS32 #9412413 zu verkaufen
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KLA/TENCOR eS32 ist eine speziell für Halbleiterhersteller entwickelte Masken- und Waferinspektionsanlage. Es ist in der Lage, die komplizierten Musterkonstruktionen zu überprüfen, die die elektronischen Komponenten der Maske und des Wafers bilden. Das System ist in der Lage, hochauflösende Inspektionen sowohl an der Maske als auch am Wafer mit einer Auflösung von weniger als 0,1 um durchzuführen. Darüber hinaus ist das Gerät hochflexibel ausgelegt und unterstützt sowohl die Waferebene als auch die oberste Inspektion. Die Maschine arbeitet, indem sie die Maske oder den Wafer einer Lichtquelle aussetzt und mit einem fortgeschrittenen bildgebenden Werkzeug abbildet. Mit diesem Asset können die Konstruktionsmerkmale eines Clients mit einer Auflösung von weniger als 0,1 erkannt werden. Es ist auch in der Lage, Standortkontrollen von bis zu 16 Standorten pro Zyklus durchzuführen. So können Produkte schnell und mit hoher Genauigkeit kontrolliert und Industriestandards eingehalten werden. Darüber hinaus ist das Modell so konzipiert, benutzerfreundlich mit einem hohen Grad an Anpassung zu sein. Der Prozess beginnt mit einer Vorbelichtungsprüfung. Dabei werden die Parameter der Abbildungseinrichtung entsprechend dem gewünschten Produkt eingestellt. Dazu gehören die Anpassung der Bildauflösung, Bildregistrierung, Kontrast und andere Parameter. Sobald die Vorbelichtungsprüfung abgeschlossen ist, wird die Maske oder der Wafer der Inspektionslichtquelle und dem aufgenommenen Bild ausgesetzt. Das System verwendet dann einen speziellen Algorithmus, um die Konstruktionsmerkmale des Produkts mit den erwarteten Konstruktionsmerkmalen zu vergleichen. Alle festgestellten Abweichungen werden für den Benutzer hervorgehoben, was eine schnelle und effiziente Inspektion ermöglicht. Schließlich bietet die Einheit eine Post-Exposure-Analyse, die es dem Benutzer ermöglicht, eine detaillierte Aufschlüsselung aller erkannten Probleme oder Diskrepanzen anzuzeigen. Darüber hinaus erfasst die Maschine ein umfassendes Datenprotokoll über den Prüffortschritt. Dazu gehören Informationen wie die Anzahl der Mängel und deren Standorte. Diese Eigenschaften sorgen für eine einfache Rückverfolgbarkeit und eine vollständige Aufzeichnung der Inspektionen. KLA eS32 Masken- und Wafer-Inspektionswerkzeug ist eine einzigartige Lösung mit hochauflösender Bildgebung, schnellen Inspektionszeiten und anpassbaren Funktionen. Diese Anlage ermöglicht es Herstellern, ihre Produkte schnell und präzise zu überprüfen und sie in Übereinstimmung mit den Industriestandards zu halten.
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