Gebraucht KLA / TENCOR eS35 #9225299 zu verkaufen
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ID: 9225299
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2010
E-Beam inspection system, 12"
EFEM
UI
Power box
IPDU
2010 vintage.
KLA/TENCOR eS35 ist eine Masken- und Wafer-Inspektionsanlage für die High-End-Halbleiterherstellung. Es verwendet eine Kombination aus optischen, elektrischen und mechanischen Sensoren, um Fehler und Defekte auf der Oberfläche von Masken und Wafern zu erkennen. KLA eS35 verwendet fünf patentierte Technologien, um potenzielle Fehler genau zu erkennen und zu identifizieren, und kann Daten auf bis zu 1000 Beispielstandorten pro Sekunde sammeln. Das System verwendet eine integrierte Masken- und Wafer-Bildgebungseinheit, die auf hochauflösenden Lasern und Kameras basiert. Diese Maschine erfasst Bilddaten, die dann von einem leistungsstarken Computerwerkzeug verarbeitet und analysiert werden. Das Asset kann Merkmale wie quartäre Musterbereiche, Gruben, Risse, Staub, Schmutz und Partikelreste auf Masken und Wafern erkennen. TENCOR ES 35 verwendet eine patentierte „Off-Axis-Technologie“, um Fehler zu erkennen. Dieses Modell verwendet eine einzigartige Off-Axis-Bildgebungstechnik, mit der die Geräte Fehler auf der Oberfläche von Masken und Wafern genauer erkennen können. Es ist in der Lage, Defekte im Mikrometermaßstab zu messen, die bei herkömmlichen Systemen oft unbemerkt bleiben. Das System erstellt ein 3D-Profil der Probenoberfläche, mit dem auch kleinste Fehler erkannt werden können. ES 35 ist mit einem ausgeklügelten Fehlerklassifizierungsalgorithmus ausgestattet. Das Gerät ist in der Lage, Defekte als kritisch oder unkritisch einzustufen und ist auch in der Lage, Fehler nach Größe, Form, Ort, Koplanarität und Verschmutzung zu klassifizieren. Die Maschine verfügt auch über fortgeschrittene Lernalgorithmen, die automatisiertes Lernen auf der Grundlage der Ergebnisse vergangener Inspektionen ermöglichen. TENCOR eS35 verfügt über eine erweiterte Bedienoberfläche, mit der Benutzer Inspektionsparameter anpassen, Echtzeitbilder, Grafiken, DICE-Berichte und mehr anzeigen können. Das Tool ist auch mit den Kommunikationsprotokollen nach Industriestandard kompatibel und ermöglicht die Inline-Integration in bestehende Halbleiterproduktionssysteme. Insgesamt ist eS35 eine leistungsfähige und zuverlässige Ressource, die Mängel auf den Oberflächen von Masken und Wafern genau und schnell identifizieren und klassifizieren soll. Das Modell ist sehr konfigurierbar und dennoch einfach zu bedienen, so dass es eine gute Wahl für diejenigen, die Kosten zu reduzieren, ohne auf Qualität Kompromisse.
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